摘要：在半导体工厂里，有一种“又爱又怕”的化学品，那就是氢氟酸（HF酸）。

在半导体工厂里，有一种“又爱又怕”的化学品，那就是氢氟酸（HF酸）。

它是清洗、刻蚀硅片的必备材料，但同时也是腐蚀性极强的“化骨水”。玻璃能被它溶解，金属也会被它侵蚀。对于半导体设备中不停转动的轴承来说，HF酸就是一个大麻烦。

那么问题来了：HF酸环境下，设备轴承该怎么选？

为什么普通轴承不行？

别小看这点酸。普通的不锈钢轴承，碰上HF酸很快就会出问题：点蚀、腐蚀、卡死……一旦损坏，不仅设备停机，还可能污染工艺流程，造成芯片报废。

哪些轴承能扛得住？

✅ 碳化硅陶瓷轴承

化学稳定性强，能耐HF酸腐蚀；

同时耐高温、耐磨损，非常适合半导体清洗和刻蚀设备。

✅ 氮化硅陶瓷轴承

强度更高，韧性更好；

在酸碱交替的复杂环境下更有优势。

✅ 高分子材料轴承（PTFE、PEEK）

在低速、轻载工况下也能用；

不过在半导体高精度设备里，更多是作为辅助选择。

选型小贴士

优先考虑全陶瓷轴承，避免金属和酸液直接接触；

润滑要注意，可干运转或选择耐腐蚀润滑剂；

密封设计很关键，别让HF酸轻易进到轴承里；

根据工况，匹配合适的游隙和精度等级。

行业趋势

现在，部分半导体厂家已经在HF酸工序里开始用碳化硅陶瓷轴承，效果不错，寿命普遍比金属轴承更长。虽然还没全面普及，但趋势已经很明显。

总结

在HF酸环境下，半导体设备轴承选型不容马虎。碳化硅陶瓷轴承，凭借耐腐蚀、耐磨损、耐高温的优势，正在成为越来越多设备厂家的新选择。

对于半导体行业来说，换一款更合适的轴承，往往能让设备更稳定，工艺更可靠。

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来源：程程科技杂谈