摘要：在全球半导体产业巨变中，中国正突破量检测装备“卡脖子”难题——新凯来3年攻克13类关键产品，核心零部件100%国产化。

新凯来火了！一口气发布数十款装备，已开发6大类半导体工艺和量检测装备。

在全球半导体产业巨变中，中国正突破量检测装备“卡脖子”难题——新凯来3年攻克13类关键产品，核心零部件100%国产化。

新凯来作为国内半导体设备领域的新兴力量，在2025年3月26日至28日的中国国际半导体展（SEMICON China）上首次亮相，携数十款自主研发的半导体设备重磅发布，引发了行业高度关注。

新凯来半导体本月高调亮剑的背后，国产光刻机官宣时刻快了，建议关注半导体设备板块。

一代工艺，一代材料，一代装备

2021 年之前，国内在量检测高端装备领域几乎是空白

本次新凯来通过照片和模型的方式展示了其多款即将发布的产品：

包括薄膜产品PVD（普陀山）、CVD（长白山）、ALD（阿里山）；

扩散装备RTP（三清山）、EPI（峨眉山）；刻蚀产品ETCH（武夷山）；

光学检测产品岳麗山BFI、丹霞山DFI、蓬莱山PC、莫干山MBI；

光学量测产品天门山IBO、天门山DBO；

PX量测产品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF；

功率检测产品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。

量检测装备有多重要？

2021 年之前，国内在量检测高端装备领域几乎是空白的，包括装备和对应的零部件、材料及工艺基础等都很薄弱。VLSI Research 携手 QY Research 的联合研究数据显示，该行业的 CR5 指数（代表行业内前五大企业市场份额总和的市场集中度指数）高达 82%。整个市场，排名靠前的五大装备供应商无一例外，皆来自欧美及日本。

就是在这样的情况下，包括新凯来等在内的国内半导体装备企业开始发力。

在整个前道装备中，量检测装备是国产化率最低的装备类别之一。由于国内半导体制造企业早期主要依赖于国外厂商提供高端量检测装备，在半导体装备的可获得性上陆续受限后，不仅装备本身，连运维都成为了关键瓶颈。

量检测装备技术难度极高，售价也非常高昂，一台高端明场缺陷检测产品售价高达数百万至上千万美金，价值可见一斑。

新凯来设备 受益方向梳理：

至纯科技：是新凯来的核心供应商，其半导体清洗湿法工艺能够满足下游晶圆厂的需求，在这一领域的全工艺机台均有订单，2021年新凯来向其采购金额达 3000 万元。

冠石科技：公司产品涉及掩膜版，用于自对准四重图形(SA0P)曝光工成与新凯来和华为联合研发的SAOP技术存在潜在协同；

奥普光电：其实控人长春光机所与新凯来合资成立长光集智，聚焦半导体设备研发。该合作可能涉及光刻机配套技术或精密光学组件；

新莱应材：新莱应材是新凯来在半导体设备零部件的供应商之一，涉及真空系统和气体系统，服务于半导体设备供应链。2024年三季，公司因新凯来订单增加，相关业务规模达8000万元。业务变关联:公司专注于高纯及超高纯洁净材料，产品覆盖光刻机、刻蚀、薄膜等设备领域，与新凯来的设备需求高度匹配；

同惠电子：公司是新凯来及华为海思的供应商，产品包括精密阻抗测试仪半导体特性分析仪等，主研么社导@题材之的研发与生产；

国林科技：公司产品用于光刻机/胶设备的清洗环节，可能服务于新凯来相关半导体制造设备的配套需求。

本文源自同花顺财经

来源：金融界