摘要：在12英寸FAB量产提速、绿色制造考核趋严的当下，厂务中心洗涤器（Central Scrubber）排口若出现HF、HCl、Cl₂或VOCs瞬时超标，将直接触发Letters预警并面临高额罚款。本方案以“”系列多组分气体智能检测仪为核心，在洗涤塔末端构建“感知

中央洗涤器排气酸气VOCs智能检测仪，让FAB废气排放无忧

在12英寸FAB量产提速、绿色制造考核趋严的当下，厂务中心洗涤器（Central Scrubber）排口若出现HF、HCl、Cl₂或VOCs瞬时超标，将直接触发Letters预警并面临高额罚款。本方案以“”系列多组分气体智能检测仪为核心，在洗涤塔末端构建“感知-分析-预警-闭环”四位一体监测微站，实现0.1 ppm级酸性气与ppb级VOCs同步在线捕集，帮助企业在排气总量控制、溯源分析和节能运行上一步到位。

一、检测原理

1. 酸性气模块：采用“双光路非分散红外（NDIR）+紫外差分吸收（UV-DOAS）”融合技术，HF/HCl在2.5-4 µm特征峰吸收强度与浓度线性相关，Cl₂通过UV段292 nm差分算法排除水汽交叉干扰，检出限≤0.1 ppm。

2. VOCs模块：选用“高气压光电离（HP-PID）+预分离柱”方案，对甲烷、苯系物、卤代烃等35种特征因子进行5 s快速扫描，动态量程0-2000 ppm，线性优度R²>0.998，可分辨1 µg/m³的异味逸散。

3. 补偿算法：内置温湿度、负压补偿与交叉干扰矩阵，自动修正洗涤塔出口高湿（≥95 %RH）、负压（-5 kPa）工况下的读数漂移，年漂移

二、产品特点

1. 全金属防腐机壳：316L+ECTFE涂层，通过ASTM B117 1000 h盐雾测试，可直接安装于洗涤器后段高湿、含氟环境。

2. 模块化热插拔：检测单元、采样泵、过滤芯均可在不停机条件下3 min完成更换，年维护工时降低40 %。

3. 双冗余采样：主路0.8 L/min连续采样，辅路15 s快速反吹，防止硅尘、铵盐结晶堵塞；配合0.1 µm PTFE膜，滤芯寿命≥6个月。

4. 物联网原生：内置4G/5G/NBIoT与MQTT协议，支持MQTT over TLS1.3加密，数据可同时对接厂务FMCS、EHS平台和生态环境局在线申报接口。

5. 绿色节能：整机功耗

三、系统功能

1. 实时监控：秒级刷新HF、HCl、Cl₂、TVOC、流量、温度、湿度七参数，自动生成5 min均值、小时均值。

2. 超标预警：支持四段阈值、分级短信/邮件/微信推送；联动洗涤塔加药泵、变频风机，实现30 s内自动加碱或提转速。

3. 趋势分析：云端AI模型对排放峰值与工艺节拍进行关联，提前15 min预判超标风险，指导厂务调整循环水pH或优化配方气量。

4. 报表合规：一键输出符合HJ75-2017、HJ212-2017格式的日报、月报；数据双备份≥3年，随时接受飞行检查。

5. 远程校准：支持零气、量程气远程标定与偏差自动记录，减少人工登高作业，提升安全系数。

四、解决方案流程

① 排放特性诊断 → ② 检测点位计算与模拟 → ③ 防腐安装与热插拔采样 → ④ 数据接入FMCS/环保平台 → ⑤ 建立闭环控制模型 → ⑥ 持续运维与性能评估。整体交期2-3周，停机时间

五、选点与安装注意事项（括号大纲随机出现）

1. 测点应布置在洗涤塔除雾层后、风机前的直管段；水平管需选负压区，垂直管优先向上段。

2. 保证前直管段≥2 D、后直管段≥0.5 D（D为当量直径），远离弯头、变径、采样孔朝上30°防积液。

3. 采样探杆长度≈1/3 D，探头加热120 ℃，避免HF溶于冷凝水导致损失。

4. 平台宽度≥1.2 m，设双护栏与防爆照明；采样管、电缆分别穿PVDF管桥架，防止酸碱腐蚀。

5. 电气部分须满足GB3836.1-2010 2区防爆要求，所有接头采用Ex dⅡC T6认证。

6. 定期巡检：每周反吹一次，每月检查滤芯结晶，每季度手动比对（SRM罐或便携FTIR），相对误差

六、执行标准

- 排放限值：GB 31973-2015《电子工业污染物排放标准》表2—HF≤3 mg/m³、HCl≤10 mg/m³、Cl₂≤5 mg/m³、TVOC≤60 mg/m³；

- 在线监测：HJ 75-2017《固定污染源烟气（SO₂、NOx、颗粒物）排放连续监测技术规范》；

- 数据上报：HJ 212-2017《污染物在线监控（监测）系统数据传输标准》；

- 质量控制：HJ 630-2019《环境监测质量管理技术导则》。

七、产品关键参数（非表格）

检测组分：HF、HCl、Cl₂、SO₂、NOx、TVOC（可扩展NH₃、H₂S）

测量范围：HF/HCl/Cl₂ 0-20 ppm；TVOC 0-2000 ppm；SO₂/NOx 0-200 ppm

检出限：HF/HCl/Cl₂≤0.1 ppm；TVOC≤1 ppb（以苯计）

响应时间：T₉₀≤30 s（酸性气），≤5 s（VOCs）

线性误差：≤±2 %F.S.

重现性：≤1 %

零点漂移：≤±1 %F.S./7d

量程漂移：≤±2 %F.S./7d

环境温度：-20 ℃-+55 ℃

相对湿度：0-100 %RH（无冷凝）

样气温度：≤200 ℃

样气压力：-10 kPa-+5 kPa

防护等级：IP66

通讯：RS485(Modbus RTU)、4G/5G、NB-IoT

电源：DC 24 V±10 %，功耗

尺寸重量：450×350×180 mm，≈10 kg

八、项目收益

1. 环保合规率100 %，消除超标罚款风险；

2. 通过AI预警+联动加药，洗涤塔碱液消耗降低12 %，年节省运行费约35万元；

3. 数据可信度提升，政府飞行检查一次通过率100 %，减少停产整改损失；

4. 维护量大幅下降，年均人工登高

来源：三卫遥测