摘要：X射线荧光光潜分析技术目前已在地质、冶金、材料、环境等无机分析领域得到了广泛的应用，是各种无机材料中主组分分析最重要的技术手段之一，各种与X射线荧光光谱相关的分析技术，如同步辐射XRF、全反射XRF光谱技术等，在痕量和超痕量分析中发挥着重要的作用。

X射线荧光光潜分析技术目前已在地质、冶金、材料、环境等无机分析领域得到了广泛的应用，是各种无机材料中主组分分析最重要的技术手段之一，各种与X射线荧光光谱相关的分析技术，如同步辐射XRF、全反射XRF光谱技术等，在痕量和超痕量分析中发挥着重要的作用。

名称型号：

X射线荧光光谱仪器：Thermo Fisher ARL PERFORM'4200

性能参数：

元素范围：常规可测11Na-92U，部分仪器可测到O元素（需备注）。

检测限：一般约200ppm，低于此值结果仅供参考。

核心原理：

X射线荧光光谱仪（XRF光谱仪），是一种快速的、非破坏式的物质测量方法。X射线荧光（XRF）是用高能量X射线或伽玛射线轰击材料时会打破原子结构的稳定性。处于低能量电子层的电子被激发而从原子中释放出来，导致该电子层出现相应的电子空位。此时处于高能量电子层的电子会跃迁到该低能量电子层来补充相应的电子空位。由于不同电子层之间存在着能量差，这些能量差以二次x射线的形式释放出来，不同的元素所释放出来的二次x射线具有特定的能量特征。

样品要求：

固体样品：块状、粉末、薄膜等均可。块状样品需表面平整，尺寸一般不超过45mm×45mm；

粉末样品：需粒度小于200目，完全干燥，且至少2g（部分要求5g以上）。

液体样品：需先处理成固体（如浓缩、干燥），或使用专用液体样品池测试。

特殊样品：含碳量超过10%的样品需先烧成灰；含Rh、Ru、In、Pd等元素的样品需提前说明。

结果展示:

应用场景

X射线荧光光谱（XRF）技术因其快速、无损、多元素分析等优势，在多个领域得到广泛应用，其主要应用场景：地质与矿业、 工业制造、环境监测、食品安全、考古与文化遗产保护、生物医学、航空航天与材料科学。

测试优势：

无损检测

XRF属于非破坏性检测技术，不会对样品造成物理或化学损伤，适用于珍贵文物、艺术品、电子元件等不可破坏的样品分析。

检测时间短，通常只需几秒钟到几分钟即可完成定性定量分析，适用于高通量、大规模样品检测。

制样简便

固体、液体、粉末等样品无需复杂前处理，部分手持式XRF甚至无需制样，可直接测量。

多元素分析

能同时检测多种元素，覆盖元素周期表中从铍（Be）到铀（U）的大部分元素，适用于复杂样品的全面分析。

无标半定量分析

在常量分析（5%-95%）范围内，无标样半定量结果具有较高参考价值，适用于快速筛查和初步分析

成本效益高

相比其他高端分析技术，XRF仪器成本较低，且维护简单，适合批量样品检测和常规质量控制。

需注意，XRF在痕量分析（低于10-20 ppm）和轻元素（如H、He、Li）检测方面存在一定局限性，高精度定量分析通常仍需标样校准。

来源：米格实验室

来源：芯片测试赵工