摘要：“比利时最后一家工业芯片制造商破产拍卖”——近日，半导体行业传来了一则令人震惊的消息，比利时的氮化镓（GaN）制造商BelGaN已经申请破产。这家位于比利时奥德纳尔德的氮化镓半导体代工厂，曾被视为欧洲领先的6英寸和8英寸氮化镓汽车半导体代工厂，如今却面临倒闭的

“老大和老二打起来后，倒下的往往是老三。”——在中美科技博弈日益激烈的今天，欧洲半导体企业似乎率先退出了“战场”。

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突然倒下的欧洲晶圆大厂

“比利时最后一家工业芯片制造商破产拍卖”——近日，半导体行业传来了一则令人震惊的消息，比利时的氮化镓（GaN）制造商BelGaN已经申请破产。这家位于比利时奥德纳尔德的氮化镓半导体代工厂，曾被视为欧洲领先的6英寸和8英寸氮化镓汽车半导体代工厂，如今却面临倒闭的困境，其440名员工也面临失业的风险。

资料显示，BelGaN团队和工厂源于1983年成立的MIETEC，后来该公司被阿尔卡特收购，再后来又被AMI Semiconductor收购，2008年，该公司又被出售给了安森美半导体，并于2009年开始开发GaN，致力于成为欧洲领先的6英寸和8英寸氮化镓汽车半导体代工厂。

2020 年，安森美半导体曾宣布要斥资1,200万欧元购买新设备对该GaN晶圆厂进行扩产，不过随后又在同年决定将该工厂出售。2022年2月，BelGaN正式收购了安森美的这个GaN晶圆厂，成为了现在的BelGaN。

BelGaN的技术优势集中在车用电子领域，曾推出650V增强型eGaN技术和1200V GaN-on-Si解决方案，并获得多家车企订单。尽管技术成果显著，BelGaN的财务问题自2022年起逐步恶化。其营收从2021年的1.2亿欧元骤降至2022年的7500万欧元，2023年虽小幅回升至8100万欧元，但仍无法覆盖运营成本11。公司长期依赖股东注资，但2024年寻求额外投资的努力失败，叠加全球供应链紧张和地缘政治风险，最终申请破产保护。

而1月21日，据《布鲁塞尔时报》报道，中国公司将成为氮化镓制造商BelGaN芯片制造设备破产拍卖的主要买家之一，原因是收购BelGaN晶圆厂的计划未能实现。在总拍卖金额2300万欧元中，中国企业以850万欧元购得关键设备，包括晶圆加工机和专用设备，而比利时政府正评估部分设备是否需出口许可。

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BelGaN为何会被中国买家看中

在破产之前，BelGaN一直致力于从硅芯片技术转型到创新的氮化镓芯片技术。

2023年12月，他们展示了1200V GaN-on-Si技术；2024年3月，BelGaN还宣布“BEL1 650V eGaN平台”已获得多个主要客户的订单并准备批量生产，也计划扩大其氮化镓工厂。

然而，尽管BelGaN在氮化镓技术上取得了进展，并在今年开始为不同客户生产，但由于在需要大量投资以支持转型的过程中，公司在寻找额外投资时未能成功，最终申请了破产保护。

对于这样一个拥有不俗技术和制作能力的半导体企业，其经营现金流或许不咋滴，可架不住其手上握有先进的半导体制造设备乃至各种专利。

BelGaN原为硅基晶圆厂，转型后专注于GaN技术，设备改造包括从硅工艺向GaN工艺的迁移，其在转型过程中引入GaN-on-Si外延层生长设备和高压测试设备，而技术路线图则涵盖Gen2、Gen3、V-GaN和GaN-IC等迭代计划，旨在满足汽车市场的高可靠性需求。

BelGaN的工厂位于比利时奥德纳尔德，占地面积440,000平方米，拥有4,300平方米的无尘室空间和约250种制造设备。其中，80%的设备可升级为8英寸产线，支持0.35微米及以上的技术节点，涵盖低、中、高压的模拟CMOS和BCD（双极-CMOS-DMOS）技术。

在GaN晶圆体系中，8英寸属于相当前沿和未来的发展方向。相较于传统的6英寸晶圆，8英寸晶圆的晶粒产出数提升了80%，单颗芯片成本降低30%。这一技术突破显著提升了GaN器件的经济性，加速了其在消费电子、新能源汽车等领域的商业化应用，且8英寸蓝宝石基GaN晶圆已实现2000V击穿电压的器件展示，良率超过95%，为高压电力电子应用（如新能源汽车、工业电机）提供了更优解决方案。

除技术上的领先优势外，随着晶圆尺寸的增大，单位器件成本呈下降趋势。8英寸晶圆的面积是6英寸晶圆的1.78倍，这意味着每片晶圆上的芯片数量增加，从而降低了生产成本。

这种成本优势使得8英寸GaN晶圆成为主流电力电子器件的重要发展方向，目前世界先进半导体公司已试产8英寸GaN晶圆，并将其应用于5G通信和新能源汽车，德州仪器也宣布将氮化镓芯片的生产工艺从6英寸升级至8英寸，以提高产能和降低成本。

对于想要在8英寸GaN晶圆领域获得更多话语权的中国买家/企业而言，直接“抄底”BelGaN成熟的设备乃至工厂的确是条“捷径”。

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中国买家能否如愿得到先进设备

大家都能看到的便宜也就很难真便宜了，盯上BelGaN先进设备的显然不止中国买家。

瑞典-芬兰财团联合成立的“7 Semiconductors Oy”公司同样有意参与竞争，意图重振欧洲半导体产业。

“我们已经为瑞典重新获得半导体领域的领导地位而努力了将近3年。最初的计划是在这里建造一家半导体工厂，但后来我们开始与比利时讨论，”支持者之一风险投资公司 Spirit Ventures 的 Gerard de Bourbon 说。“我们首先写了一份意向书，今天我们向比利时BelGaN提出了报价。”预计交易金额约为 15 亿瑞典克朗（1.3亿欧元）。

同时，比利时企业家Guido Dumarey及前所有者安森美也曾参与竞标，但未达成交易。值得一提的是美国与德国企业在初期表现出购买兴趣，但最终竞购力度不及中国买家以及7 Semiconductors Oy。

BelGaN手上拥有不少半导体晶圆厂商想要的MOCVD外延设备，BelGaN的1200V硅基氮化镓（GaN-on-Si）技术基于MOCVD（金属有机化学气相沉积）制造的工程厚衬底，支持高击穿电压（>1600V）和低比导通电阻（4mΩ·cm²）。2023年底，BelGaN还计划从AIXTRON引入G10-GaN MOCVD系统，进一步提升外延层质量。

而其工厂通过了严格的汽车电子认证（AEC-Q101），专注于车规级GaN器件的量产，覆盖650V至1200V电压范围，适用于车载充电、逆变器等场景。

MOCVD外延设备在半导体制造领域具有广泛应用，特别是在LED芯片生产、功率器件制造以及太阳能电池等领域。在LED芯片生产中，MOCVD设备用于制备高质量的外延层，这是LED芯片性能的关键所在。同时，MOCVD技术也是制造高性能电子器件如激光器、高频电子器件等的关键技术之一。

由于MOCVD设备的技术复杂度高，涉及多学科交叉（如真空、热场控制、气体动力学等），且国际巨头如美国Veeco、德国Aixtron长期垄断全球市场，其专利布局严密。Aixtron的“行星式反应器”（Planetary Reactor）和Veeco的“涡轮盘反应器”（Turbo Disk）均受专利保护，中国企业若直接仿制可能面临侵权风险。

尽管中微半导体等企业在蓝光LED领域成功实现国产替代（2018年国内市场占有率85），但在功率器件、Micro LED等高端应用领域，国产设备仍处于追赶阶段，核心工艺的稳定性和良率尚未完全达到国际水平。

而日本对MOCVD设备实行出口管制政策，导致其设备（如NIPPON Sanso的产品）难以进入中国市场，进一步加剧了市场对欧美设备的依赖，这也BelGaN被中国买家看重的原因。

事实上，MOCVD设备的出口限制可以参考荷兰政府于2023年6月30日颁布了针对半导体制造设备的新出口管制条例，该条例自2023年9月1日起生效，限制了包括光刻机、ALD设备、硅外延生长设备等在内的半导体制造设备出口。虽然MOCVD设备并未明确列入限制清单，但其作为半导体材料生长的关键设备，与硅外延生长设备类似，可能受到间接影响。

因此，中国买家能否如愿得到比利时氮化镓制造商BelGaN的设备，还需要看双方的谈判进展、政府审批情况以及市场环境的变化，而国产化恐怕才是长远解决办法。

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砥砺前行的国产MOCVD设备

中国对MOCVD（金属有机化合物化学气相沉积）设备的国产化探索始于上世纪80年代，但受限于技术壁垒和海外垄断，长期未能取得实质性突破。彼时，全球市场由德国AIXTRON和美国Veeco主导，两家企业合计占据超90%的份额，尤其在LED外延片生产领域形成绝对垄断。

2000年后，随着LED照明产业的兴起，中国地方政府开始通过补贴政策鼓励企业购置MOCVD设备。扬州、江门等地对设备采购提供资金支持，推动了国内MOCVD保有量的快速增长。然而，这一阶段的国产设备研发仍处于“雷声大、雨点小”的状态，多家企业尝试仿制或逆向工程，但最终因技术不成熟而未能产业化。

进入21世纪后，国家开始重视半导体设备的国产化工作。2003年，国家实施半导体照明工程，将MOCVD设备的国产化作为重点支持方向。在政策支持下，国内企业如中晟光电、中微半导体等开始加大研发投入，逐步缩小与国际先进水平的差距。

中微半导体作为国内MOCVD设备的龙头企业，通过自主研发，推出了Primo A7等高性能设备，大幅提升了产品的性能和可靠性。此外，中微半导体还积极拓展Mini LED和Micro LED等新兴市场，为全球客户提供高产量、高波长均匀性和良率的量产解决方案。

与此同时，中晟光电也不断优化其ProMaxy®系列设备，使其在亮度、良品率和迁移率等方面达到国际先进水平。这些技术突破不仅提升了国产MOCVD设备的市场竞争力，也为中国LED产业的发展注入了新的活力。

近年来，随着国产化进程的加速，国产MOCVD设备的市场占有率逐步提升。据数据显示，2016年国产MOCVD设备在国内市场的占有率仅为11%，但到2022年已超过50%，成功实现从早期的技术空白到如今的国际竞争者身份的转变。

从这个角度看，BelGaN的设备或许也不是非买不可。

来源：电脑报评论