摘要：晶圆厂掺杂区，五氟化磷(PF5)一旦泄漏，遇湿即刻生成氢氟酸雾，腐蚀设备、灼伤呼吸道，却无色无味。传统巡检一天两次，数据空白23小时50分钟——这50分钟足以让整批晶圆报废，甚至触发环保罚单。某头部FAB曾因此停机72小时，损失超2 000万元，EHS总监自嘲

五氟化磷PF5检测仪传感器模组-泄漏0.1 ppm就报警,告别隐形杀手

一、场景痛点：看不见的“蚀骨风”

晶圆厂掺杂区，五氟化磷(PF5)一旦泄漏，遇湿即刻生成氢氟酸雾，腐蚀设备、灼伤呼吸道，却无色无味。传统巡检一天两次，数据空白23小时50分钟——这50分钟足以让整批晶圆报废，甚至触发环保罚单。某头部FAB曾因此停机72小时，损失超2 000万元，EHS总监自嘲：“我们是在用员工鼻子做传感器。”

二、核心技术：0.01 ppm“嗅觉”如何炼成

三卫科技SW800-PF5采用进口ECD电化学池，三电极抗干扰结构，把PF5分子捕获率提升3倍；独家“脉冲式温度补偿”算法，在-20 ℃~+55 ℃内零点漂移

1. 双层纳米防水膜，无惧HF酸雾侵蚀，传感器寿命从12个月延长到24个月。

2. 隔爆铝合金+氟碳涂层，IP66防护，可直接冲洗。

3. 4-20 mA+RS485双模输出，0.2 s级联DCS/PLC，支持MQTT云端，手机小程序一键读数。

4. 红外遥控标定，单人3分钟完成，无需开盖，减少70 %维护工时。

三、选购标准：一张表锁定靠谱仪

| 指标 | 最低门槛 | 三卫科技实测 |

|---|---|---|

| 分辨率 | ≤0.1 ppm | 0.01 ppm |

| 响应时间T90 | ≤30 s | 12 s |

| 零点漂移 | ≤±2 %FS/月 | ±0.5 %FS/6月 |

| 传感器寿命 | ≥12月 | 24月（质保） |

| 防爆等级 | Ex d IIC T6 | Ex d IIC T6 |

| 数据存储 | 本地1万条 | 100万条+云端 |

四、行业案例：从“救火”到“防火”

案例1：深圳某8英寸厂

2025年5月，三卫科技在扩散炉区布设12台SW800-PF5，组网至厂务FMCS。4月3日凌晨2点，浓度曲线突升0.3 ppm，系统秒级联动风机并推送微信报警。值班工程师3分钟定位到炉管密封圈微裂，避免一次HF酸雾扩散，节省停产损失约600万元。

案例2：长三角锂电材料基地

PF5作为电解质中间体，现场湿度高。客户原用PID原理仪，误报率>15 %。更换三卫科技ECD方案后，误报率降至

五、使用与维护指南：三分钟上手，一年免忧

1. 安装：高度距地面0.3-0.6 m（PF5分子量126，重于空气），探头朝下；远离风口≥1 m。

2. 接线：三卫科技采用拔插式端子，零线火线防呆设计，现场电工5分钟完成。

3. 标定：首次通电自动零点校准，后续每6个月通入5 ppm标准气，3分钟完成。

4. 维护：每月清水冲洗外壳，每季度观察防水膜是否变色，小程序自动提醒更换周期。

5. 备件：传感器、膜片、主板模块化，徒手旋拧即可更换，停机

来源：三卫遥测