ASML预言成真，中国芯使用中国产光刻机，不从ASML买了？

摘要：话说回来，这几年半导体圈子里闹得沸沸扬扬的事儿，莫过于美国带头搞的那些出口管制了。荷兰的ASML公司，作为全球光刻机老大，本来是靠卖设备给全世界芯片厂吃饭的，结果被卷进这场大国博弈里。

话说回来，这几年半导体圈子里闹得沸沸扬扬的事儿，莫过于美国带头搞的那些出口管制了。荷兰的ASML公司，作为全球光刻机老大，本来是靠卖设备给全世界芯片厂吃饭的，结果被卷进这场大国博弈里。

他们的前CEO彼得·温宁克在2023年1月25日接受彭博社采访时，放话说美国的这些管制措施，搞不好会逼着中国自己搞出高端芯片制造设备。

他直言，如果中国拿不到这些机器，他们就会埋头苦干，花几年时间自己研发出来，最终达到目标。这话听着像是在给美国泼冷水，其实也透露出ASML的生意经——中国市场对他们太重要了，2022年对中国销售额占了公司总营收的15%左右，丢了多可惜啊。

彼得·温宁克那时候还强调，ASML想和中国继续做买卖，因为他们是商人，追求利益最大化，美国的那些事儿跟他们没太大关系。但现实是，美国从2022年10月开始，就禁止出口用于14nm以下节点的设备，包括ASML的部分深紫外光刻机。

荷兰政府也跟风，在2023年6月30日宣布限制ASML向中国出口浸润式深紫外光刻机，这种机器能做8nm到14nm的工艺。温宁克在公司财报会上回应，说短期影响不大，但长期来看，市场格局可能会变。他甚至在2023年4月26日对路透社说，中国寻求自研半导体设备是“合逻辑”的，因为管制会让技术进步放缓，但中国不会坐以待毙。

这番预言一出，网上热闹了。很多人觉得这是借他吉言，希望中国早日搞出自己的光刻机，让美国傻眼。果然，没过多久，中国这边就开始有动作了。上海微电子设备公司（SMEE），这是中国光刻机领域的骨干企业，2023年8月就有消息说，他们的SSA/800-10W型号，28nm级的光刻机，将在年底交付。

这是中国第一台国产28nm光刻机，专用于芯片制造测试。10月5日，Tom＇s Hardware报道确认，这台机器预计年底前到货，虽然分辨率比不上ASML的极紫外机，但对成熟节点的生产来说，已经够用了。12月20日，SMEE的背靠者张江集团在社交媒体上发帖，说公司开发出能做28nm芯片的光刻机，这标志着中国在深紫外光刻技术上迈出一大步。

转眼到2024年，中国自研光刻机的步伐没停。SMEE在9月12日公布一项极紫外光刻专利，涉及光学系统改进，能提升图案精度。这显示他们在追赶ASML的路上没闲着。Yahoo Finance报道，SMEE的进步让业内开始议论，中国半导体产业的“阿喀琉斯之踵”——极紫外光刻——可能没那么难攻克了。

同时，ASML对中国销售还在高位，2023年第三季度，中国销售额占比高达46%，创纪录，主要因为中国企业提前囤货。温宁克在2024年4月24日卸任前，接受Yahoo Finance访谈，说美国限制维修中国设备的影响有限，不会伤及公司盈利。但他退休后，继任者克里斯托夫·富凯在7月9日对德国《商报》说，中国在芯片技术上还落后美国十年，尤其在极紫外光刻机上，复制起来难上加难。

不过，中国没被这些话吓住。2024年下半年，SMEE的分支机构AMIES成立，专注突破更先进技术。2025年进入高潮期。8月，AMIES宣布发货第500台步进光刻机，据ITHome报道，他们已占据国内市场的90%。这不是小打小闹，这些机器用于芯片封装和测试，帮助提升成品率。9月24日，CSIS的博客分析说，中国在芯片制造上渐进式进步，开发出电子束光刻系统，这是向高端迈进的真实一步。8月14日，南华早报报道，中国首台商用电子束光刻机交付，这推进了芯片制造能力，尤其在精细图案上。

再说说DUV技术，中国在2025年有新突破。10月8日，Digitimes报道，中国加速DUV光刻专利和原型开发，玉良盛的28nm浸润式DUV机器正在测试，目标是8nm节点。虽然有专家9月18日对TrendForce说，8nm突破是误解，但实际进展是有的，SMEE从2020年6月就宣布交付第一台28nm浸润光刻机，现在已进入大规模测试。TrendForce在10月21日报道，AMIES在光刻推进行业自给自足，国内市场份额大增。这意味着，中国芯片企业开始整合这些国产机器，提升产能，减少对进口依赖。

从ASML的角度看，对中国销售确实在变。2025年10月15日，Euronews报道，ASML第三季度净销售额75亿欧元，中国占42%，但公司警告，2026年中国销售额将“显著下降”。Caixin Global在10月16日说，中国一度是ASML最大市场，2023年第三季度营收占比46%，全年29%，但现在涌现的订单高峰要结束了。

Mobile World Live报道，ASML预计2025全年净销售额增长15%，毛利率52%，但中国需求正常化后，会掉下来。The Register在10月15日说，尽管中国销售下滑，ASML靠AI芯片需求拉动，总营收还稳。

这事儿搁谁身上都得琢磨琢磨。温宁克的预言，说中国会自研成功，现在看部分应验了。中国芯从后道封装入手，用国产光刻机测试和生产，逐步减少买ASML的机器。像昆山同兴达这样的企业，2023年2月就从SMEE买了两台1800万元的2.5D/3D先进封装光刻机，还办了入厂仪式。这台机器被称作同类产品中的顶尖，性能国际前沿。虽然后道光刻机比前道容易，美国管制也松，但这是基础，从易到难，得一步步来。SMEE称这代表行业最高水平，不是落后货。

其实，中国自研路径挺务实的。先补基础课，把后道打牢，再攻前道。2025年，国内企业测试28nm浸润式深紫外机，计划第三季度试产。Nikkei Asia在7月16日说，SMEE目标是65nm和28nm级生产系统，芯片厂开始采用。

Reddit上有人预测，中国2025年底能 mass-produce极紫外机，虽然YouTube视频10月1日声称中国已推出EUV机器，关掉ASML大门，但这可能有点吹。真实情况是，中国工程师试着逆向工程ASML的深紫外机，结果搞坏了，还找ASML修——Facebook群里1天前发的帖，挺尴尬的。但整体趋势是，中国在DUV上加速，EUV还需时间。

话说回来，这不光是技术事儿，还牵扯全球供应链。温宁克2023年9月对Digitimes说，完全隔离中国不可能，因为产业高度互联。

华为Mate 60 Pro的7nm芯片，用库存设备造出，就证明管制延缓但挡不住进步。2024年7月8日，TrendForce报道，温宁克退休前说中美芯片战没事实依据，可能持续几十年。富凯接手后，也觉得中国复制EUV难，但中国用DUV伸展，建本土扫描仪，重新塑造芯片制造。