摘要:氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料),是以纳米氧化铝颗粒为研磨剂,添加pH值调节剂、氧化剂、分散剂、稳定剂等制造而成的应用在化学机械抛光领域的浆料。氧化铝CMP浆料通过化学腐蚀和机械研磨的共同作用来对材料表面进行抛光。
氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料),是以纳米氧化铝颗粒为研磨剂,添加pH值调节剂、氧化剂、分散剂、稳定剂等制造而成的应用在化学机械抛光领域的浆料。氧化铝CMP浆料通过化学腐蚀和机械研磨的共同作用来对材料表面进行抛光。
氧化铝,化学式为Al2O3,也称刚玉,硬度高,熔点高,化学性质稳定,不溶于水,可溶于无机酸、碱,是一种价格较为低廉的磨料,硬度仅次于金刚石,可用于几乎所有工件的表面打磨抛光领域,例如可用于晶圆、光学玻璃、宝石抛光方面。
根据新思界产业研究中心发布的《2025-2029年全球及中国氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业研究及十五五规划分析报告》显示,在电子产业中,氧化铝CMP浆料通过浆料的腐蚀与氧化铝粒子的研磨,来使晶圆表面呈现纳米级平坦化,以提高光刻胶的分布均匀性以及光刻曝光时的聚焦准确性,也可以应用在集成电路生产过程中铜Cu、铝Al、钨W等金属布线材料、薄膜材料的抛光方面,具有抛光速率高的优点,是一种常见的CMP浆料。
在CMP浆料中,研磨剂的硬度、粒径、在溶液中的分散度与浓度等,均会影响抛光效果。在氧化铝CMP浆料中,由于氧化铝颗粒硬度高,分散稳定性较弱,易团聚,存在抛光时易划伤材料表面的问题。为进一步提高氧化铝CMP浆料的抛光性能,氧化铝颗粒的分散稳定性、颗粒间的相互作用等还需持续探索。
纳米级高纯氧化铝粉末可以采用固相法、气相法、液相法等工艺进行制备,用来制备氧化铝CMP浆料时,需要对其表面进行改性,实现外壳包覆,并减少团聚,目的是降低抛光划痕。
在全球市场中,氧化铝CMP浆料生产商主要有美国卡博特微电子(Cabot Microelectronics)、日本富士胶片(Fujifilm Corporation)、德国默克(Merck KGaA)、日本Resonac等;在我国市场中,氧化铝CMP浆料生产企业主要有北京国瑞升科技集团股份有限公司、上海新安纳电子科技有限公司、安集微电子科技(上海)股份有限公司等。
新思界行业分析人士表示,我国氧化铝产能过剩问题日益明显,对企业营收造成不利影响,与常规氧化铝相比,高纯度、粒径在纳米级别、可用于CMP浆料领域的氧化铝粉末技术含量高,有实力的企业向此领域布局,可以提高核心竞争力与盈利能力。2024年,全球晶圆代工市场规模同比增长20%以上,全球CMP浆料市场规模超过20亿美元,我国大陆地区晶圆代工产能增速高于全球平均水平,下游市场需求增长也有利于推动我国氧化铝CMP浆料行业发展。
2025-2029年全球及中国氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业研究及十五五规划分析报告
新思界分析
2行业发展现状及“十五五”前景预测
2.1全球氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业规模及预测分析
2.1.1全球市场氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)总体规模( 2020-2029 )
2.1.2全球市场氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)产能、产量分析( 2020-2029 )
2.1.3中国市场氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)总体规模( 2020-2029 )
2.1.4中国市场氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)产能、产量分析( 2020-2029 )
2.1.5中国市场氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)总规模占全球比重( 2020-2029 )
2.2全球氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)区域需求格局
3氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业发展环境分析
3.1 中国氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业政策环境分析
3.1.1 行业主管部门及监管体制
3.1.2 行业相关政策动向
3.1.3 行业相关规划
3.1.4 政策环境对氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业的影响
3.2 行业技术环境分析
3.2.1 行业技术现状
3.2.2 行业国内外技术差距
3.2.3 行业技术发展趋势
3.3 氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业经济环境分析
3.3.1 全球宏观经济运行分析
3.3.2 国内宏观经济运行分析
3.3.3 行业贸易环境分析
3.3.4 经济环境对氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业的影响
4行业竞争格局
4.1全球市场竞争格局分析
4.1.1全球市场主要企业氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)收入分析( 2020-2024)
4.1.2氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业集中度
4.1.3全球主要企业氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)类型及应用
4.1.4全球行业并购及投资情况分析
4.2中国市场竞争格局
4.2.1 现有企业间竞争
4.2.2 上游议价能力
4.2.3 下游议价能力
4.2.4 潜在进入者
4.2.5 替代者威胁
5氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业价格分析(2020-2024)
5.1 氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)产品价格变动情况(2020-2024)
5.2 氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)上游原材料市场情况
5.3 氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业成本分析
5.4 氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)产品价格未来走势分析(2020-2029)
6不同产品类型氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)分析
6.1全球市场不同产品类型氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)总体规模
6.1.1全球市场不同产品类型氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)总体规模( 2020-2024)
6.1.2全球市场不同产品类型氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)总体规模预测( 2025-2029 )
6.2中国市场不同产品类型氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)总体规模
6.2.1中国市场不同产品类型氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)总体规模( 2020-2024)
6.2.2中国市场不同产品类型氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)总体规模预测( 2025-2029 )
7行业发展机遇和风险分析
7.1氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业发展机遇及主要驱动因素
7.2氧化铝CMP浆料(Al2O3-CMP浆料)行业发展面临的
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来源:新思界网