摘要：每年3月的那几天，天南海北的半导体人都像候鸟迁移一样来到上海。在高铁上邻座的大哥，马上还会在浦东那一排写着N1、N2、N3、T0、T1、T2、T3的展馆里与你摩肩接踵，也可能在展馆隔壁的老娘舅和你抢号，没错，SEMICON China就是这么火爆。

每年3月的那几天，天南海北的半导体人都像候鸟迁移一样来到上海。在高铁上邻座的大哥，马上还会在浦东那一排写着N1、N2、N3、T0、T1、T2、T3的展馆里与你摩肩接踵，也可能在展馆隔壁的老娘舅和你抢号，没错，SEMICON China就是这么火爆。

芯潮IC应几家客户企业及协会的邀请，也为今年将近20万的人流量献了一份力，挂着运气好抢来的紫色新凯莱观众牌脖带，现场零距离感受了一把中国半导体产业的风头无两。（后来才知道这脖带也评出了“鄙视链”，佩服三连666）

本次我们的关注焦点之一，是半导体自动化物料搬送系统（AMHS）。作为半导体晶圆厂稼动率及高品质的重要保证之一，尤其对于如今风头正盛的12寸晶圆厂来说，AMHS系统必不可少。

作为国内首家在12英寸晶圆厂完成自动物料搬运系统（AMHS）整厂验收的企业，「弥费科技」携新一代AMHS智能传输解决方案天帆SS5000系列在本届展会高调亮相，值得注意的是，「弥费科技」现有标签足够让其冲到赛道头部：

填补了国产AMHS在该领域的空白

打破海外企业占据90%以上市场份额的垄断格局

国内首家完成8吋、12吋晶圆厂整厂交付的企业

牵头制定国内首个天车系统团体标准

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这究竟是一家怎样的企业？在国产AMHS赛道中弥费科技处于怎样的位置？哪些客户为它买单？除弥费科技外，还有哪些国产力量，在为打破半导体AMHS系统巨头垄断而崛起？芯潮IC和你一起揭晓答案。

天车、天帆双管齐下，弥费科技实现半导体AMHS国产化突破

在半导体晶圆厂中，AMHS是工厂稼动率及品质一致性的重要保证之一。无论是满足效率需求、还是减少人员对无尘车间及晶圆品质的影响，AMHS都起到了至关重要的作用，成为先进工艺晶圆厂大规模量产的必备系统。

以大陆目前量产的先进工艺节点28nm为例，一个平均光刻层数近50层、工艺步骤超过1000步、生产周期90天左右，一个4万片月产能28nm工艺节点的全自动晶圆厂，每天的晶圆盒传送量超10万次，如此高强度作业，工厂在自动化搬运上的痛点已经非常明确——亟需接入高效、低沉、低振动的AMHS系统。

AMHS全称自动物料搬运系统。它是半导体晶圆厂的先进物流系统，在全厂工艺设备间，高速，精准和平稳地，传输和存储晶圆和光罩。AMHS长期可靠运行，才能保障晶圆制造的产能和质量。OHT与OCS是AMHS的核心部件，其中效率最高，技术难度最大的，就是OHT，这是一种在高架轨道上滑行，通过皮带驱动的自动化运输系统，被广泛认为是 300mm工厂（Fabrication） 和下一代工厂的主要运输系统。

本届展会上，弥费科技正式发布AMHS智能传输新一代解决方案——天帆SS5000系列OHT天车系统。系统在算力、算法和数据方面的三维技术突破，在架构、平台、机构和应用的全系统四层设计创新。

作为国内首家在12英寸晶圆厂完成自动物料搬运系统（AMHS）整厂验收的企业，弥费科技填补了国产AMHS在该领域的空白。其AMHS系统覆盖天车、存储设备、净化设备等全套硬件及调度软件，已成功应用于全球前五大晶圆代工厂中的4家，并服务近40家国内外知名晶圆厂，不仅打破了日本企业长期占据90%以上市场的垄断格局，还提升了国产供应链的安全性和自主可控能力。

弥费科技联合产业链上下游企业和科研机构，牵头制定了国内首个天车传送系统团体标准——《集成电路晶圆厂用天车传送系统应用要求》。该标准填补了国内空白，为行业提供了技术规范，助力中国AMHS企业提升国际竞争力。

2024年，弥费科技完成C轮亿元融资，由大众聚鼎领投、璟侑资本跟投。融资资金主要用于研发投入和海外产能扩展，如在马来西亚设立生产基地及服务中心，在新加坡建立全球销售中心。此举标志着弥费科技从国内市场向全球化战略迈出关键一步，也让更多人在半导体AMHS领域的听到了中国的声音。

打破国际巨头垄断，国产AMHS正凝聚更多力量

纵观全球半导体AMHS行业，中国市场呈现出快速增长的态势，规模可观，但大部分市场仍由日韩企业牢牢占据，大福、村田以及SEMES为当前三大世界领先的AMHS供应商。

● Daifuku(大福):成立于1937年，1965年生产日本第一台AGV，2000年开展半导体业务，长期深耕工业搬送领域，在世界范围内有多达4040项专利，是当前AMHS系统行业龙头。

● Muratec(村田):成立于1935年1986年正式进军无尘车间搬送领域。其AMHS系统注重高效、准确和可靠的物料搬运，以满足电子元器件制造过程中的高要求。是当前仅次于大福的AMHS行业巨头。

● SEMES:成立于1993年，是三星电子全资子公司，韩国最大的半导体设备制造商，也是全球第六大半导体设备制造商。目前专为三星电了提供相关设备。

目前国内半导体AMHS厂商为打破国际巨头垄断正凝心聚力，除弥费科技外，还有大族富创得、成川科技、果纳半导体、格创东智、合肥欣奕华、新施诺、尊芯智能、华芯(嘉兴)、道达智能等多家企业积极布局。总体来看，行业呈现出“地面方案多，天车方案少”的态势。

已有部分企业实现天车方案全部件自研，如成川科技、欣奕华和弥费科技。其中成川科技已于2023年完成交付3个整线项目并获得客户最终验收；欣奕华也已完成12英寸AMHS量产交付。

弥费科技落地成果上，当前客户主要集中在半导体晶圆制造领域，包括国内外头部晶圆代工厂（如12英寸晶圆厂）、IDM企业（垂直整合制造企业）以及部分8英寸碳化硅晶圆厂。其AMHS系统已进入全球前五大晶圆代工厂中的四家，覆盖30余家晶圆厂客户，设备订单量近8000台。

除此以外，尊芯智能、果纳半导体等多家企业亦均在AMHS部件自研中取得突破，果纳半导体的12吋Fab AMHS系统去年已顺利出货。

据QYResearch调研显示，2023年全球半导体AMHS市场规模大约为29.29亿美元，预计2030年将达到42.93亿美元，2024-2030期间年复合增长率（CAGR）为5.4%。亚太地区作为最大的半导体AMHS市场，占有大约74%份额，这也意味着一众企业在这里掘金，仍然大有前途。

星星之火已成燎原之势，实现技术自主可控与国产化突破的下一步，国产半导体AMHS力量也需要走出国门，突破“百台”以上AMHS落地案例，让全球客户认可、接受。通过高性价比、灵活客制化能力等优势，我们将打破国际厂商与晶圆厂的长期绑定关系，争取在海外头部晶圆厂实现核心产线渗透。

正如在采访中弥费科技联合创始人&CSO柯娜女士谈到的未来目标：要用前沿科技成果和持续创新，推动中国AMHS系统向智能化、自适应方向演进。国产半导体AMHS正在加速成为全球半导体智能制造生态的核心参与者，从跟跑迈向领跑，不断跨越。

来源：芯潮IC