共聚焦

共聚焦显微镜—赋能光学元件精密质控

在光学精密加工领域,微纳结构元件的三维形貌检测是保障器件性能的重要环节。以微透镜阵列、衍射光学元件为代表的精密光学元件,其特征尺寸已突破亚微米量级,对表面轮廓精度与结构面形误差的检测要求达到纳米级分辨率。若加工过程中产生的边缘塌陷、周期畸变或面形偏差未能精准识

光学 共聚焦 显微镜 共聚焦显微镜 光学元件 2025-06-03 21:28  5