国家知识产权局信息显示，眉山琏升光伏科技有限公司取得一项名为“一种用于磁控溅射靶材更换的工作舱”的专利，授权公告号 CN 222182422 U，申请日期为2024年4月。

眉山 靶材 磁控溅射 2024-12-23 13:41  2