中国芯突破封锁!首台自研纳米压印光刻机交付,线宽碾压日本巨头

B站影视 内地电影 2025-08-06 18:00 1

摘要:半导体圈炸锅了!就在上周,一家名叫璞璘科技的中国公司干了一件大事——国内首台半导体级纳米压印光刻机PL-SR正式交付客户!这台“中国印”可不简单:线宽直接干到10nm以下,把日本佳能同类设备甩在了身后。更解气的是,佳能同类设备一直对中国禁运,如今咱们自己搞出来

半导体圈炸锅了!就在上周,一家名叫璞璘科技的中国公司干了一件大事——国内首台半导体级纳米压印光刻机PL-SR正式交付客户!这台“中国印”可不简单:线宽直接干到10nm以下,把日本佳能同类设备甩在了身后。更解气的是,佳能同类设备一直对中国禁运,如今咱们自己搞出来了,西方卡脖子的手又被掰开一根指头!

这设备牛在哪?三个数字说明一切:

平均残余层厚度<10nm——相当于头发丝的万分之一;

残余层波动<2nm——比高端口红涂得还均匀;

深宽比>7:1——能在纳米尺度“挖”出陡峭深坑。

更绝的是它攻克了三大“地狱级”难题:

非真空贴膜术:像给手机贴膜一样,在普通环境下一把压平12英寸晶圆,省掉昂贵真空设备;

智能喷胶黑科技:芯片图案复杂?喷胶量自动动态调节,胶薄如蝉翼却滴水不漏;

模板防翘曲系统:石英模板和硅片天生爱“翘屁股”,硬是靠算法让它们严丝合缝。

就连清洗胶水都玩出花样——自研可溶剂洗的光固化胶,避免百万级石英模板被污染报废,这省钱的功夫绝了!

对芯片厂来说,PL-SR简直是“省钱神器”:

设备价格仅为EUV光刻机的40%,投资门槛大降;

耗电只有EUV的10%,电费账单直接抹个零。

尤其让长江存储等国产存储厂狂喜——3D NAND闪存这类“千层饼”芯片,图形结构重复率高,用纳米压印比EUV更划算。佳能曾吹嘘“纳米压印价格比EUV少一位数”,如今被中国公司实现了!

但别急着喊“光刻机革命”!这技术也有软肋:
造手机CPU/GPU等逻辑芯片效率低——每层电路都得换模板,堪比活字印刷术拼激光打印机;
量产速度仍待验证,毕竟物理压印比“光照复印”慢半拍。

此前全球纳米压印设备被日本佳能垄断,其旗舰机FPA-1200NZ2C支持14nm线宽,却上了对华禁运名单。璞璘的10nm设备一出,不仅参数反超,更让中国在存储芯片、硅光芯片(激光雷达核心)、AR微显领域握紧自主筹码。

更深远的是,它开辟了一条“农村包围城市”的芯片制造路径:

先靠纳米压印攻克存储芯片,再用利润反哺攻关逻辑芯片,最终打破EUV霸权!

璞璘已联手科研机构死磕<10nm对准精度技术——这是堪比EUV难度的终极关卡。若突破,中国芯真能换道超车!

璞璘科技看似名不见经传,实则藏龙卧虎:

创始团队人均二十年行业老炮,与纳米压印发明人Stephen Chow院士深度合作

公司90%员工是硕士博士,研发天团清一色博士帽;

从科研小设备到量产大机器全自研,手握100多项专利

这家杭州企业用五年时间,把实验室技术变成抗衡巨头的硬装备,堪称“扫地僧”式逆袭!

璞璘的突破,短期看是给国产存储芯片“雪中送炭”,长期看则为中国半导体埋下换道超车的火种。尽管前路仍有高山(对准精度!量产效率!),但此刻值得一句:

中国芯,印出自己的路了!

详细信息来源

《璞璘科技破冰中国半导体制造:首台10nm级步进纳米压印光刻机》- 解佩网,2025-08-05《国产半导体装备重大突破!璞璘科技纳米压印设备交付客户》- 集微网,2025-08-06《璞璘科技突破纳米压印技术瓶颈 国产高端半导体设备实现交付》- 我爱方案网,2025-08-05《超越日本!我国第一台纳米压印光刻机交付:线宽小于10nm》- 快科技(新浪科技),2025-08-05《打破垄断,中国首台,10nm压印光刻机系统交付!》- 搜狐新闻,2025-08-06

来源:走进科技生活

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