《膜厚检测仪：光干涉反射技术的精密测量利器》

摘要：国仪光子的膜厚检测仪核心原理基于光的干涉和反射。仪器配备不同的光源，如FILMTHICK系列、FILMTHICK - C10采用进口卤钨灯光源，全自动膜厚测量仪JY - FILMTHICK - CT18采用高强度氘钨灯光源。当光源发出的光波照射到被测膜层时，光

国仪光子研发的膜厚检测仪凭借其先进的技术原理、广泛的应用场景和突出的技术优势，在行业中占据重要地位。

技术原理：基于光干涉与反射的精准测量

国仪光子的膜厚检测仪核心原理基于光的干涉和反射。仪器配备不同的光源，如FILMTHICK系列、FILMTHICK - C10采用进口卤钨灯光源，全自动膜厚测量仪JY - FILMTHICK - CT18采用高强度氘钨灯光源。当光源发出的光波照射到被测膜层时，光波会产生不同传播路径。一部分光波在膜层表面直接反射，另一部分穿透膜层，在膜层与基底的界面处反射回来。这两束反射光波在探测器位置相遇，发生干涉现象，形成独特的干涉图样。

在量子光学范畴内，光的干涉是其波动性的重要体现。通过测量干涉图样的变化，结合OPTICAFILMTEST光学膜厚测量软件运用的FFT傅里叶法、极值法、拟合法等高精度算法，能够精确计算出光波的相位差。由于相位差与膜厚度存在特定数学关系，利用这一关系就能精准推算出膜层的厚度。

行业应用：多领域的膜厚测量解决方案

半导体领域

在半导体行业，国仪光子的膜厚检测仪发挥着关键作用。可对硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体等多种半导体材料，以及光刻胶、氧化物/氮化物、工艺薄膜、介电材料等膜层进行高精度测量。在芯片制造过程中，精确的膜厚控制对芯片性能和良率起着决定性作用，国仪光子的测量仪能够实时、准确监测膜厚变化，保障生产工艺的稳定性。

液晶显示领域

对于液晶显示行业，如OLED、玻璃厚度、聚酰亚胺、LCD、TFT、ITO与其他TCO等材料的膜厚测量，国仪光子的产品同样适用。以OLED屏幕为例，精确的膜厚测量有助于提升屏幕的显示效果和色彩准确性，减少显示缺陷，增强产品的市场竞争力。

光学镀膜领域

在光学镀膜方面，国仪光子的膜厚检测仪能满足HC硬涂层、AR抗反射层、AG防眩光涂层、滤光片、眼镜等产品的膜厚测量需求。通过精确测量膜厚，可以优化镀膜工艺，提高光学产品的性能和质量。

生物医学领域

在生物医学领域，国仪光子的膜厚检测仪可用于测量Parylene派瑞林、聚合物、生物膜、医疗设备等的膜厚。例如在生物传感器制造中，精确的膜厚控制对传感器的灵敏度和准确性至关重要，国仪光子的测量技术为生物医学研究和产品制造提供了可靠支持。

其他薄膜领域

对于AR膜、HC膜、PET膜等各种薄膜材料，国仪光子的膜厚检测仪也能发挥优势，确保薄膜的质量和性能符合要求。

技术优势：高精度、高效、无损的测量保障

高精度测量

国仪光子的膜厚检测仪采用非接触式测量方法，避免了机械接触对膜层可能造成的损伤。利用光的干涉原理进行测量，测量精度可达纳米级别，对微小膜厚变化的监测具有极高灵敏度，能够满足各种高精度测量需求。

非破坏性检测

由于采用非接触式测量方式，国仪光子的膜厚检测仪不会对被测样品造成任何损伤，保证了样品的完整性。这在对珍贵样品或不可重复使用样品的测量中具有重要意义，如生物医学研究中对生物膜的测量，以及半导体芯片制造过程中的在线监测。

快速测量能力

国仪光子的膜厚检测仪测量过程迅速，能够在短时间内完成大量测量任务。以全自动膜厚测量仪JY - FILMTHICK - CT18为例，其高稳定测试大平台和桥驾式探测头结构，XY轴超大行程，可测量1.2x0.7m的大尺寸样品，还能一键测试输出自动定位，进行非接触式无损、高精度多点位测量，大大提高了工作效率。