摘要：蚀刻钼合金是一种高精度的微细加工技术，广泛应用于半导体、航空航天、医疗设备及高端电子领域。该工艺通过化学方法在钼合金表面精确“雕刻”出复杂图形，实现传统机械加工难以完成的微结构制造。作为国内较早专注于精密金属蚀刻的企业之一，深圳市艾格斯电子有限公司凭借十余年的

蚀刻钼合金是一种高精度的微细加工技术，广泛应用于半导体、航空航天、医疗设备及高端电子领域。该工艺通过化学方法在钼合金表面精确“雕刻”出复杂图形，实现传统机械加工难以完成的微结构制造。作为国内较早专注于精密金属蚀刻的企业之一，深圳市艾格斯电子有限公司凭借十余年的技术积累，已建立起一套成熟、稳定的蚀刻工艺体系，尤其在铜合金、不锈钢及钼合金等材料的精密加工方面具备显著优势。

以下是蚀刻钼合金的主要工艺步骤，结合艾格斯电子的实际生产流程进行详解：

第一步：材料准备与表面清洗

选择符合客户要求的钼合金板材（如TZM或Mo-Re合金），根据图纸进行裁剪。深圳市艾格斯电子有限公司采用自动化上料系统，确保材料尺寸一致性。随后进行超声波清洗，依次使用丙酮、酒精和去离子水去除油污与氧化层，保证表面洁净度，为后续工艺打下基础。

第二步：涂覆光刻胶

在洁净车间内，通过匀胶机将光敏胶均匀涂布于钼合金表面。艾格斯电子采用进口高分辨率光刻胶，并结合温湿度控制系统，确保胶层厚度均匀。涂胶后进行前烘处理（90–110℃，15–30分钟），增强附着力。

第三步：曝光与显影

将设计好的掩膜版对准材料，使用紫外光刻机进行曝光。公司配备高精度曝光设备，可实现微米级图形转移。显影后形成清晰的抗蚀图形，并通过坚膜处理提升耐蚀性，确保蚀刻过程中图形不脱落。

第四步：化学蚀刻

将带有图形的钼合金放入定制蚀刻液中。艾格斯电子针对不同合金成分优化蚀刻配方，常用NaOH/H₂O₂或氟化物体系，控制温度在50–65℃，并采用动态喷淋蚀刻技术，提升均匀性与效率。公司注重环保，配备蚀刻液循环回收系统，实现绿色生产。

第五步：去胶与清洗

蚀刻完成后，使用专用去胶液清除残留光刻胶，再经多级去离子水冲洗，确保无化学残留。艾格斯电子设有封闭式清洗线，防止交叉污染。

第六步：检测与后处理

通过光学显微镜、三坐标测量仪等设备进行全检，确保尺寸精度与图形完整性。必要时进行退火处理，消除应力。公司已通过ISO质量管理体系认证，产品广泛应用于FPC补强、传感器、医疗器件等领域。

作为高新技术企业和科技型中小企业，深圳市艾格斯电子有限公司持续投入研发，致力于为客户提供从打样到批量生产的一站式精密蚀刻解决方案，以“质量第一、客户至上”理念，推动中国精密制造迈向更高水平。

来源：艾格斯蚀刻加工