摘要：国产光刻机的自主发展，已成为关乎国家战略安全与科技命脉的必然选择。作为半导体制造的核心装备，光刻机直接决定芯片性能与产业水平。长期以来，我国光刻机市场被海外垄断，进口依赖度高，国产化率低，仅有以上海微电子集团、北方华创、以及新秀深圳新凯莱为代表的几家公司，尤其

国产光刻机的自主发展，已成为关乎国家战略安全与科技命脉的必然选择。作为半导体制造的核心装备，光刻机直接决定芯片性能与产业水平。长期以来，我国光刻机市场被海外垄断，进口依赖度高，国产化率低，仅有以上海微电子集团、北方华创、以及新秀深圳新凯莱为代表的几家公司，尤其在高端领域我们面临严密的技术封锁和出口限制。

突破“卡脖子”困境，实现光刻机自主可控，不仅意味着芯片供应链的安全保障，更将带动光学元件、精密机械等整个产业链的升级创新。近年来，国产光刻机已在不断取得关键突破，并逐步推动28nm与14nm等制程工艺的自主化，为汽车、家电、物联网、智能手机乃至军工等领域提供了底层支撑。

随着国家推出人工智能+的行动计划，需要越来越多的算力芯片支撑未来庞大的数据与算力需求。也因此对高端光刻机的需求更加急迫。

唯有掌握光刻机核心技术，才能在全球科技竞争中占据主动，守护中国产业的未来安全与发展自主权。

本文特梳理，国产光刻机领域，成长最快的10家公司，以供参考。特别说明，部分公司近期涨幅过大，务请注意风险。

1、海立股份
净利润增长率：693.76%
中报净利润：3335.46万元
光刻机关联：公司与上海微电子装备集团就项目合作、产品配套等内容达成合作。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。

2、同飞股份
净利润增长率：466.71%
中报净利润：1.25亿元
光刻机关联：公司液体恒温设备在半导体制造设备领域主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。

3、中光防雷
净利润增长率：321.87%
中报净利润：1067.87万元
光刻机关联：根据国产光刻机领域应用要求，公司定制研发的高性能超大通流 T1 AC SPD（浪涌保护器），已在样品阶段。

4、凯美特气
净利润增长率：199.82%
中报净利润：5584.61万元
光刻机关联：公司电子特气项目生产芯片所需的超高纯气体和光刻气产品具有较高的品质，已通过多个国际头部企业的相关认证或审核，并与多家头部企业建立合作，包括获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证。

5、茂莱光学
净利润增长率：110.36%
中报净利润：3275.55万元
光刻机关联：公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件，是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的核心模块。

6、江丰电子
净利润增长率：56.79%
中报净利润：2.53亿元
光刻机关联：公司研发的半导体用多层薄壁钛合金扩散焊接项目开发项目，开发多层钛合金扩散焊接技术，制备28nm以下节点的光刻机核心冷却部件，已进入量产阶段。

7、晶方科技
净利润增长率：49.78%
中报净利润：1.65亿元
光刻机关联：公司下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商，部分产品运用于光刻机部件。

8、芯碁微装
净利润增长率：41.05%
中报净利润：1.42亿元
光刻机关联：在制版光刻机领域，目前主流制程在100-400nm工艺区间，公司推出量产90nm节点制版需求的光刻设备以满足半导体掩膜版技术的更新迭代。

9、张江高科
净利润增长率：38.64%
中报净利润：3.69亿元
光刻机关联：通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司22,345万元人民币，持有上海微电子公司10.779%的股权。建立了完整的集成电路产业链布局。

10、思泰克
净利润增长率：36.61%
中报净利润：4475.81万元
光刻机关联：参股公司思坦科技联合攻关开发了基于高功率 AlGaN 深紫外 Micro-LED 显示的无掩膜光刻技术，在 Micro-LED 无掩膜光刻领域取得了突破性成果，也标志着半导体行业的制造工艺即将迎来革命性进展。

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来源：财经大会堂