摘要：Precession Elephant III（简称PEIII）多轴扫描振镜，是Novanta专为精密微加工研发的重量级产品，非常适合各种复杂几何形状和锥度的钻孔需求，能达到非常出色的钻孔精度和超快的加工速度，最小光斑尺寸< 8 μm，可以应对最为极致苛刻的细
Precession Elephant III（简称PEIII）多轴扫描振镜，是Novanta专为精密微加工研发的重量级产品，非常适合各种复杂几何形状和锥度的钻孔需求，能达到非常出色的钻孔精度和超快的加工速度，最小光斑尺寸
应用示例
内燃机喷油嘴加工
喷油嘴是发动机燃油喷射系统的核心部件，燃油经过喷嘴高速喷出，形成雾状，利于充分燃烧，而其中喷孔的几何精度、内部光滑度、边缘精细有无毛孔等因素不仅会影响雾化均匀性，长期下来也会影响发动机整体的性能和寿命。而喷油嘴常规又分为汽油喷油嘴、柴油喷油嘴和天然气喷油嘴等。
PEIII加工优势：最高的纵横比设计，同时保证超高的表面质量
汽油喷油嘴加工效果
典型加工参数：
材料厚度 0.02-0.4 mm孔径 25-300 μm典型微孔加工时间 1.5 s负锥度全角度可达 16°孔纵横比可达 12:1柴油机喷油嘴加工效果
典型加工参数：
材料厚度 0.6-1.5 mm孔径 70-300 μm负锥度全角可达 16°孔纵横比可达 12:1直径重复率 孔径精度 孔圆度 > 95%孔位置精度 壁面质量 Ra探针卡加工
探针卡是半导体制造中用于晶圆测试的关键组件，主要用于芯片封装前测量芯片的电气性能,在进行封装工程前挑选出有缺陷的芯片, 是晶圆制造过程中对制造成本有重大影响的重要工艺。探针卡上的微孔数量众多，尺寸微小，精度要求极高。
PEIII加工优势：最小光斑尺寸
探针卡加工效果
典型加工条件及参数：
用于晶圆上的微芯片检测，氮化硅陶瓷基材加工根据不同测试策略加工不同尺寸的微孔处理后只需超声波清洗满足高端样品处理需求典型材料厚度 0.2-0.5 mm典型孔加工时间 方孔边长 30-60 μm边角半径 微孔纵横比可达 15:1插针微切割
此铜针是直接装配在探针卡上的用于测试的插针，是连接芯片/晶圆与测试设备进行信号传输的核心零部件，尺寸要求达到微米级别，表面光滑度高，作为高端精密电子元器件，制造加工技术要求非常高。
PEIII加工优势：保障最佳表面质量的情况下进行零锥度切削
插针微切割效果
典型加工参数：
铜针横截面小至35x35µm尺寸公差壁面质量Ra喷丝板加工
喷丝板是纺织行业化学纤维制造过程中用于形成纤维丝的精密组件，表面分布众多直径微米级别的精细孔洞，在纺丝时，纺丝溶液或熔体从这些微孔中通过，以细流状态挤入凝固浴或空气中，即凝固或冷却成为纤维。喷丝板在化纤、塑料、橡胶、食品、造纸等行业中均有广泛应用。
PEIII加工优势：保障最佳表面质量的情况下进行零锥度激光铣削
喷丝板加工效果
典型加工条件及参数：
复杂形状和三维结构尺寸介于100和300µm之间加工材料可包括不锈钢、高温合金、陶瓷等PEIII是Novanta研发团队在原来PEII基础上进一步升级，采用更高端的光学器件、涂层工艺、数字伺服驱动等，保障更高的钻孔频率和更高的脉冲能量，钻孔效率整体提升约50%，还可以提供完全根据客户设备定制的子系统，可以达到开箱即用。
长三角G60激光联盟陈长军转载
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来源：江苏激光联盟
