摘要:2025年8月5日,杭州一家叫璞璘科技的公司把一台新机器交给了国内客户。这台PL-SR型纳米压印光刻机能做出比头发丝还细十万倍的芯片线路,线宽不到10纳米。他们说这是咱们国家自己造的第一台能用在半导体生产的同类机器,打破了日本佳能过去一直垄断的市场。
2025年8月5日,杭州一家叫璞璘科技的公司把一台新机器交给了国内客户。这台PL-SR型纳米压印光刻机能做出比头发丝还细十万倍的芯片线路,线宽不到10纳米。他们说这是咱们国家自己造的第一台能用在半导体生产的同类机器,打破了日本佳能过去一直垄断的市场。
这玩意儿的工作原理跟传统光刻不一样。以前大家用EUV光刻机得靠激光照出图案,花钱多不说,还得花大钱维护机器。璞璘这台设备则是把预先做好的模板直接按在晶圆上,像盖章一样印出电路。他们解决了好几个难题,比如涂胶时要控制薄膜厚度到10纳米以内,还得让模板和硅片完美贴合不留残胶。
公司团队里大部分都是硕士博士,领头的还和一位叫Stephen Chow的外国院士合作。人家用了五年时间才把实验室的东西变成能用的量产设备。现在这机器能快速换模板生产不同芯片,适合做存储芯片、AR眼镜里的显示芯片这些。
现在国内做存储芯片的厂商,比如长江存储,正急需这种设备。因为荷兰的ASML公司被美国卡着,没法卖EUV光刻机过来。璞璘这台机器正好能用在3D NAND这类重复图案多的芯片生产上,虽然速度比不上EUV,但成本低了一大截。
不过也有短板。要是做智能手机处理器这类复杂的逻辑芯片,这机器就不太行了。因为每次改设计都要换模板,生产速度上不去。不过他们说下一步目标是把对准精度提高到10纳米以内,这样说不定能打开更多市场。
国外厂商反应挺有意思。佳能那边之前垄断着这个市场,现在听说咱这机器参数还更好,股价都跌了。有报道称日本那边最近开了好几次紧急会议,讨论怎么应对。
这台机器用了好多新技术。比如涂胶不是均匀涂,而是根据需要动态调节用量,减少浪费。模板表面处理技术也厉害,能让石英做的模板和硅片之间不留空隙,印出来的东西特别清晰。
数据方面,璞璘自己说他们的设备比日本同类产品残胶控制更好,深宽比做到7比1。有报道引用第三方测试,单片制造成本能比EUV方案低三分之二。虽然这些数字还需要更多实测验证,但至少给出了个初步参考。
现在有消息说国内几家做功率半导体的企业已经下单,准备用这台机器生产车用芯片。AR行业的厂商也在谈合作,想用压印技术来做微型显示屏。这些都是因为传统光刻在这些领域要么成本太高,要么精度不够。
研发过程中遇到的问题也不少。比如怎么让模板和晶圆在真空外贴合,怎么精确控制温度压力。团队里有专门做材料的博士团队,光专利就申请了一百多项。有媒体报道说他们光做试验就换了几十种涂胶配方。
未来计划里,璞璘准备先在存储和特色工艺站稳脚跟,等赚到钱再投入更复杂的逻辑芯片领域。公司负责人说他们现在先把路铺开,等技术积累够了,再慢慢挑战EUV的垄断地位。
现在这台机器已经正式投入使用,后续效果还需要看实际生产情况。反正从参数上看,至少在某些关键指标上已经超过了之前进口设备。至于能不能真的改变全球芯片格局,只能靠时间来验证了。
来源:小農剪影一点号