摘要：内衬是置于反应腔体内的核心零件，比反应腔更接近晶圆反应过程，是工艺零部件中对洁净度、耐腐蚀度要求最高的产品之一。由于不同内衬应用于不同制程的设备（公司部分内衬产品应用于 7 纳米制程工艺设备），价格区间波动较大，在 1-5 万元之间。内衬产品体积和耗用材料居中

刻蚀设备腔体内衬全球市场总体规模

内衬是置于反应腔体内的核心零件，比反应腔更接近晶圆反应过程，是工艺零部件中对洁净度、耐腐蚀度要求最高的产品之一。由于不同内衬应用于不同制程的设备（公司部分内衬产品应用于 7 纳米制程工艺设备），价格区间波动较大，在 1-5 万元之间。内衬产品体积和耗用材料居中，是工艺零部件中平均单价居中的品类；

据QYResearch调研团队最新报告“全球刻蚀设备腔体内衬市场报告2025-2031”显示，预计2031年全球刻蚀设备腔体内衬市场规模将达到1.8亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为5.4%。

图00001. 刻蚀设备腔体内衬，全球市场总体规模

图00002. 全球刻蚀设备腔体内衬市场前10强生产商排名及市场占有率（基于2025年调研数据；目前最新数据以本公司最新调研数据为准）

根据QYResearch调研，全球范围内刻蚀设备腔体内衬生产商主要包括Lam Research、TEL (Tokyo Electron Ltd.)、Fiti Group、Applied Materials (AMAT)、先锋精科等。2024年，全球前五大厂商占有大约81.0%的市场份额。

来源：可爱无尾熊