摘要：光刻胶由树脂（Resin），感光剂（Sensitizer），溶剂（Solvent），添加剂（Additives）构成。

知识星球（星球名：芯片制造与封测社区）里的学员问：光刻胶单体是什么？有哪些类型？售价多少？

什么是单体？

光刻胶由树脂（Resin），感光剂（Sensitizer），溶剂（Solvent），添加剂（Additives）构成。

而单体则是在聚合过程中形成光刻胶中的树脂。

单体有哪些种类？
主要有：
1，4,4-联苯二甲醛

2，4,4'-双(羟甲基)联苯

3，4-羟基苯乙烯

4，1,1-二甲基乙基4-乙烯基苯基碳酸酯

5，1,3-二羟基金刚烷

6，1-甲基丙烯酰氧基-3-金刚烷醇

7，1-丙烯酸金刚烷基酯

8，丙烯酸二环戊酯

9，2-异丙基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯

10，1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯

11，4-乙烯基苯酚醋酸酯

12，2-乙基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯

等等等等。

单体合成的工艺路线？

单体种类繁多，这里我们以4，4’-联苯二甲醛为例，摘录了专利CN201010000036.1 《一锅法合成4，4’-联苯二甲醛的方法》中的合成方法：

1.环己烷和硫酰氯的混合：

在配有回流冷凝器的反应器中加入4 mL环己烷。

加入40.0 g（0.33 mol）硫酰氯（SOCl2），在搅拌下冷却至大约10°C。

2.N,N-二甲基甲酰胺的滴加：

慢慢滴加22.0 g（0.3 mol）N,N-二甲基甲酰胺到冷却的混合物中。

搅拌反应0.5-2小时以形成Vilsmeier配位络合物。

3.联苯溶液的滴加：

滴加16.0 g（0.1 mol）已溶解在环己烷中的联苯溶液。

滴加完毕后，将温度升至80-90°C。

在此温度下搅拌反应8小时。

4.反应混合物的冷却：

反应完成后冷却至室温。

5.水的滴加和pH调整：

在冰水冷浴中，慢慢向反应液中滴加冰水。

滴加完毕后，在冰浴冷却条件下，慢慢加入30%氢氧化钠溶液直到pH达到5-6。

6.产物的分离和纯化：

沉淀形成黄色片状晶体。

抽滤分离沉淀物并得到滤饼。

滤饼重结晶以进一步纯化。

真空干燥得到最终产物。

7.产物的鉴定和收率：

得到的4,4’-联苯二甲醛重量为15.2 g。

测定熔点为139-141°C。

通过高效液相色谱法（HPLC）测定纯度大于98.0%。

收率大于70%。

单体价格？
一般的 I线单体售价约为150元/公斤，KrF单体售价约为800元/公斤，ArF的单体售价约为3000-10000元/公斤不等.

来源：凉柚老木