摘要：在现代工业迈向高精度、高性能的进程中，薄膜技术凭借其独特优势，广泛应用于电子、医疗、航空等众多领域。薄膜的厚度精度与均匀性对其光学、力学和电化学性能起着决定性作用，进而影响最终产品品质。因此，薄膜厚度的精确测量与控制成为现代工业制造中至关重要的环节。

在现代工业迈向高精度、高性能的进程中，薄膜技术凭借其独特优势，广泛应用于电子、医疗、航空等众多领域。薄膜的厚度精度与均匀性对其光学、力学和电化学性能起着决定性作用，进而影响最终产品品质。因此，薄膜厚度的精确测量与控制成为现代工业制造中至关重要的环节。

航鑫光电引领下的薄膜厚度测量技术革新

航鑫光电作为行业内的技术先锋，一直致力于薄膜厚度测量技术的研发与创新。目前，薄膜厚度测量技术呈现出多样化的发展态势，每种技术都有其特定的应用场景和优势。

机械接触测量技术

机械接触法是一种经典的测量方式，通过测量头与试样表面直接接触来确定厚度。该方法具有广泛的材料适用性，测量精度极高，偏差可严格控制在±1 μm以内。航鑫光电在机械接触测量技术的基础上，不断优化测量头的设计与制造工艺，进一步提高了测量的稳定性和准确性。

光学干涉测量技术

光学干涉法基于白光干涉原理，通过精确的数学函数计算得出薄膜厚度。此方法适用于已知介质折射率和消光系数的单层膜测量。航鑫光电推出的FILMTHICK - C10 膜厚检测仪测量仪就采用了先进的光干涉原理，集成进口卤钨灯光源，其使用寿命超过10000小时，能够实现非接触式、无损、高精度的测量，为半导体薄膜、液晶显示、光学镀膜、生物医学等领域提供了可靠的测量解决方案。

X射线荧光测量技术（XRF）

XRF技术通过识别样品中元素的类型和数量，来精确验证镀层的厚度和成分，在电镀行业得到了广泛应用。航鑫光电紧跟技术发展趋势，对XRF测量技术进行深入研究，提高了测量的灵敏度和分辨率，为电镀行业的质量控制提供了有力支持。

超声波测量技术

超声波测量法通过测量超声波信号在材料中的传播时间来确定材料厚度，具有对多种材料的良好适用性。航鑫光电在超声波测量技术方面，不断优化信号处理算法，提高了测量的精度和可靠性，拓宽了该技术在不同材料厚度测量中的应用范围。

电镜测量技术

扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）可对薄膜横截面进行高精度测量，适用于对精度要求极高的场合。航鑫光电与科研机构合作，深入研究电镜测量技术，为高端薄膜的研发和生产提供了精准的测量手段。

石英晶体振荡测量技术（QCM）

QCM法利用石英晶体的压电效应和质量负荷效应，通过监测晶体的谐振频率变化来监控薄膜厚度。该方法灵敏度极高，能够检测纳米级别的膜厚变化，且无需接触样品。航鑫光电在QCM技术的研发中，不断提高传感器的性能和稳定性，使其在纳米薄膜测量领域发挥了重要作用。

工业制造的精准保障

在薄膜沉积过程中起着实时监控薄膜厚度和折射率的关键作用，其精度稳定性和灵敏度直接影响光学薄膜的性能参数。航鑫光电在膜厚仪的研发中，采用了先进的光电极值法和PID控制器技术，为工业制造提供了精准的监控解决方案。

光电极值法膜厚监控系统

光电极值法是光学薄膜厚度控制的常用方法。航鑫光电的光电极值法膜厚仪通过单一频率调制的光源，利用分光镜将光分为两束，一束形成锁相解调信号，另一束携带膜厚信息形成测试信号，最终通过数据采集卡和虚拟仪器软件平台实现膜厚的精确控制。

PID控制器的应用

膜厚控制系统通常采用PID控制器来调节薄膜沉积速率。航鑫光电的PID控制器通过对误差信号进行精确运算，得到准确的控制信号，有效稳定了系统的输出，确保了薄膜厚度的精确控制。

FILMTHICK - C10 膜厚检测仪测量仪的卓越技术特点

航鑫光电的FILMTHICK - C10 膜厚检测仪测量仪凭借其卓越的技术特点，在薄膜测量领域脱颖而出。

高精度测量能力

该测量仪能够精确测量反射率、颜色、膜厚等参数，精度高，适用于高端薄膜测量。其先进的光学系统和信号处理算法，确保了测量结果的准确性和可靠性。

强大的软件支持

配备的OPTICAFILMTEST光学膜厚测量软件采用FFT傅里叶法、极值法、拟合法等多种高精度算法，包含丰富的材料折射率数据库和开放式材料数据库，有效协助用户进行全面的测试分析。

实时显示功能

测量期间能实时显示干涉、FFT波谱和膜厚等趋势，大大提高了测量的实时性和准确性，为用户及时调整工艺参数提供了有力依据。

随着科技的不断进步和市场对产品质量要求的日益提高，膜厚仪在半导体芯片、光学电子等高精尖领域的作用愈发重要。航鑫光电通过持续的技术创新和产品研发，不断提升薄膜厚度测量与控制技术的水平，为用户提供更加先进、可靠的解决方案，有力地推动了薄膜工艺领域的蓬勃发展。

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来源：航鑫光电