摘要：CINNOResearch产业资讯，曾一度被日本企业垄断的显示屏离子注入设备，如今已通过韩国本土技术研发成功。该设备能否进一步应用于显示屏量产工艺，备受业界关注。

CINNOResearch产业资讯，曾一度被日本企业垄断的显示屏离子注入设备，如今已通过韩国本土技术研发成功。该设备能否进一步应用于显示屏量产工艺，备受业界关注。

据业界9月15日消息，韩国政府推进的显示屏离子注入设备研发国家项目已宣告完成。该项目于2021年启动，原计划在去年12月收尾，后延期至今年6月，历经4年最终完成。

韩国产业通商资源部曾在2020年宣布，将通过韩国国内的中坚及中小设备企业主导研发、三星显示与LG显示作为需求企业参与并提供性能评估及商业化支持的方式，实现离子注入设备的韩国国产化。在此期间，该项目的具体细节一直处于保密状态，如今看来已取得最终成果。

综合采访信息，该项目已成功完成。具体来看，以三星显示为需求企业的项目由合作企业H&IRuju负责设备研发，以LG显示为需求企业的项目则由合作企业Avaco承担。值得一提的是，为应对下一代技术投入，Avaco研发的设备可兼容至8.6代玻璃基板。

Avaco的离子注入系统专利所记载的韩国国家研发项目信息中，红色方框标注的研究项目名称“秘密项目”格外引人注目。该研究周期延长了6个月，持续至2025年6月30日。〈资料来源：韩国专利厅〉

显示屏离子注入设备的作用是，向低温多晶硅（LTPS）施加中电流并注入离子（杂质），使其转化为低电阻的导电材料。近年来，业界出现了向氧化物薄膜晶体管（TFT）注入离子以提高电子迁移率的趋势，因此该设备的应用范围预计将进一步扩大。它是OLEDTFT工序中，用于改善元件特性的核心设备之一。

此前，离子注入设备完全依赖日本企业供应。韩国显示屏企业主力的6代生产线，均采用了日新离子（NissinIon）的设备。此次研发成果能否推动离子注入设备实现商用化并产生进口替代效应，备受瞩目。若能打破外资垄断格局，不仅可降低设备价格，还能稳定供应链。

然而，要将研发完成的设备实际应用于量产生产线，必须先进行性能与可靠性验证。因此，有观点认为，作为需求企业的面板厂商需积极探索设备的应用方案。这是因为在通常的设备选型过程中，量产设备的交付业绩是重要考量因素，新企业想要实现设备供应存在较大难度。

一位显示行业的相关人士表示：“政府投入预算，将完全依赖进口的设备实现韩国国产化，这具有重大意义。但如果无法实际投入使用，国产化便失去了价值，因此韩国国内企业需要积极探讨设备的应用可能性。”

马女士 Ms. Ceres

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来源：新浪财经