摘要：行业案例：台积电3nm产线采用多级监测网络，实现每2分钟全参数扫描，晶圆良品率提升0.8%。建议选择带SECS/GEM通讯协议的监测仪，可直接接入半导体设备自动化系统。

水质在线监测仪在电子行业的核心优势解析
（2025年3月31日 · 农历三月初三 · 15:30更新）

一、超纯水生产的精准控制

18.2MΩ·cm电阻率保障

实时监测离子残留（Na⁺＜0.1ppb，Cl⁻＜0.05ppb）

动态调节混床树脂再生周期，降低30%耗材成本

TOC控制技术

紫外氧化-NDIR检测法，检出限达0.5μg/L

预防有机物导致的晶圆表面缺陷

二、关键制程的污染防控

晶圆清洗水监控

金属颗粒检测（＞50nm粒径报警）

酸碱浓度闭环控制（pH波动±0.1以内）

光刻工艺保护

监测光阻剂溶剂纯度（酮类残留＜1ppb）

预防水质波动引起的线宽变异（CD uniformity提升15%）

三、智能化运维体系

功能

技术实现

效益

预测性维护 基于ML的传感器寿命模型 设备停机时间减少70%

数字孪生联动 与超纯水系统PLC实时数据交互 故障响应速度提升90%

行业案例：
台积电3nm产线采用多级监测网络，实现每2分钟全参数扫描，晶圆良品率提升0.8%。建议选择带SECS/GEM通讯协议的监测仪，可直接接入半导体设备自动化系统。

来源：小帆科技论