日本真空技术株式会社(ULVAC)成立于1952年，经过半个世纪的发展壮大，现已成为世界一流的集真空获得设备、真空测量设备及真空应用设备为一体的综合性企业集团。一直致力于真空设备和成膜工艺的一些解决方案的提供，一路走来，经历了早期的太阳能光伏产业、LCD平板显

碳化硅 真空技术 杨秉 ulvac ulvac杨秉 2025-04-17 04:00  2