如何同质外延生长出具有原子级平整的氧化镓(Ga2O3）单晶薄膜，是制备高性能Ga2O3基功率电子器件或紫外光电器件的基础。由于通用衬底存在非理想整数指数表面，二维“台阶流”生长被广泛认为是实现上述高质量单晶薄膜的理想方法，并适用于大功率电子器件的制造。然而，受

论文 氧化镓 同质外延 氧化镓同质 张海忠 2025-04-07 09:23  2