璞璘科技交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻系统 消息称,8月1日,璞璘科技自主设计研发的首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备顺利通过验收并交付至国内特色工艺客户。此次设备交付是公司业务拓展和市场渗透的新里程碑,标志着璞璘科技在高端半导体装备制造领域迈出坚实的一步。 光刻 步进 压印 纳米压印 步进纳米 2025-08-05 18:57 2