gaas外延片

GaAs 外延片质量控制

Mocvd 法生长外延片，是当前制做 LED 产品关键工艺，外延材料是 LED 核心部分。所以要获得符合要求的外延层，必须做好方方面面的质量控制工作。以 Mocvd 法生长 GaAs 外延层为例，结合理论和实践经验，进一步论述 Mocvd 法生长 GaAs 外