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吉通科技申请提高光刻机分辨率专利，大幅提升光刻机的分辨率

国家知识产权局信息显示，吉通科技（广州）有限公司申请一项名为“改进4的一种提高光刻机分辨率的方法”的专利，公开号CN 119356036 A，申请日期为2024年7月。