摘要：2025年3月，中国科学院宣布成功研发全固态深紫外（DUV）激光技术，采用Yb:YAG晶体放大器生成1030nm基频光，通过四次谐波转换和光学参数放大生成193nm紫外光，完全摒弃传统DUV光刻机依赖的氟化氩（ArF）准分子激光技术，输出功率达70mW，频率6

一、技术突破核心：全固态DUV光源绕开欧美专利封锁

2025年3月，中国科学院宣布成功研发全固态深紫外（DUV）激光技术，采用Yb:YAG晶体放大器生成1030nm基频光，通过四次谐波转换和光学参数放大生成193nm紫外光，完全摒弃传统DUV光刻机依赖的氟化氩（ArF）准分子激光技术，输出功率达70mW，频率6kHz。该技术实现三大颠覆性突破：

性能对标国际最先进水平：193nm波长与主流DUV光刻机参数一致，可支持3nm芯片制造，绕开ASML的EUV光刻机专利封锁。

产业链自主可控：固态设计无需稀有气体（如氩、氟），规避美国对气体供应链的制裁风险，整体体积缩小30%，能耗降低40%。

技术扩展潜力：首次生成携带轨道角动量的涡旋光束，为晶圆加工、缺陷检测提供新路径，后续可通过提升功率（目标2026年达20W）和频率（向10kHz迭代）逼近商用标准。

二、行业重构逻辑：国产替代提速下的三大受益方向

1. 上游核心材料与器件：固态光源技术催生新型需求

2. 中游设备与系统集成：国产光刻机自主化加速

整机研发：上海微电子（未上市）的28nm DUV光刻机已采用国产光源，预计2026年产能提升至50台/年。

3. 下游芯片制造与配套：成熟制程成本优势凸显

存储芯片：长江存储采用国产设备后，NAND闪存单位成本降低18%。

三、8家最受益A股上市公司

第1家

核心逻辑：全球LBO/BBO晶体龙头，中科院固态光源核心材料供应商，全球市占率超80%。2025年Q1订单同比增长120%。

业绩预期：机构预测2025年净利润8.2亿元，同比增长65%，毛利率维持68%高位。

第2家

核心逻辑：光场匀化器打入ASML供应链，固态光源匀化精度达0.1nm，2024年半导体业务收入占比提升至40%。

业绩预期：2025年营收突破25亿元，净利润同比预增80%。

第3家

核心逻辑：5nm刻蚀设备进入台积电供应链，与固态光源协同提升光刻精度，2024年新增订单增长50%。

业绩预期：2025年营收130亿元，净利润率提升至28%。

第4家

核心逻辑：KrF光刻胶市占率62%，28nm ArF胶通过上海微电子验证，获大基金二期10亿元注资扩产。

业绩预期：2025年光刻胶收入占比超50%，净利润同比翻倍。

第5家

核心逻辑：PVD设备国产化率超30%，配套光刻胶涂布设备，2024年研发投入增长45%。

业绩预期：2025年半导体设备收入突破300亿元，毛利率提升至42%。

第6家

核心逻辑：前道涂胶显影设备匹配国产光刻机，28nm工艺验证周期压缩50%，涂胶显影设备国产化率突破50%，适配固态光源工艺，28nm胶厚均匀性±0.5%。客户涵盖中芯国际、华虹集团。

业绩预期：2025年出货量突破200台，净利润同比预增120%。

第7家

核心逻辑：光刻机定位光栅精度达0.5nm，国产替代率从20%提升至60%，2024年毛利率提升至55%。

业绩预期：2025年半导体业务收入占比超35%，净利润同比增长90%。

第8家

核心逻辑：光刻胶用光引发剂纯度达99.99%，通过合肥长鑫验证，2025年产能扩张至800吨/年。

业绩预期：2025年营收同比增长85%，净利率提升至18%。

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来源：股市老麻雀一点号