摘要:国家知识产权局信息显示,魅杰光电科技(上海)有限公司申请一项名为“一种用于白光干涉聚焦的信号同步采集处理系统及方法”的专利,公开号CN 119618053 A,申请日期为2024年12月。
金融界2025年3月17日消息,国家知识产权局信息显示,魅杰光电科技(上海)有限公司申请一项名为“一种用于白光干涉聚焦的信号同步采集处理系统及方法”的专利,公开号CN 119618053 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本申请提供一种用于白光干涉聚焦的信号同步采集处理系统及方法,应用于半导体量测技术领域,该信号采集处理系统用于半导体量测技术中的套刻误差测量,采用CMOS传感器和雪崩击穿二极管传感器,通过分束镜、管镜、卤素光源、快门、显微物镜、参考镜和压电陶瓷等组件,实现高精度的白光干涉测量;并通过信号调理通道设计,包括无源衰减电路、阻抗变换电路、增益放大电路和ADC驱动电路,确保信号的精确采集和处理;该信号采集处理系统通过模板匹配法对采集的干涉信号进行评价,实现快速确定零光程差位置和wafer的自动聚焦。该系统具有高稳定性、高准确性,且成本效益高,空间结构紧凑,适用于高精度半导体量测设备。
天眼查资料显示,魅杰光电科技(上海)有限公司,成立于2015年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本924.4706万人民币,实缴资本289.1176万人民币。通过天眼查大数据分析,魅杰光电科技(上海)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目13次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息116条,此外企业还拥有行政许可1个。
来源:金融界