摘要：国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“干涉测量设备”的专利，公开号CN 119334270 A，申请日期为2024年7月。

金融界2025年1月24日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“干涉测量设备”的专利，公开号CN 119334270 A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，一种测量设备(10；110；210；310；410；510；610；710)，用于干涉地确定被测物体(14)的测试表面(12)的形状(50)的特性(50；52)，包括用于产生输入波(24)的照射装置(22)；配置成从所述输入波生成两个平面波(32，34)的分离模块(18；118；318；418；518)，所述两个平面波具有平行的传播方向并且跨越所述传播方向彼此偏移；波前自适应模块(20；720)，用于通过使彼此偏移的平面波的相应波前适应所述光学测试表面的目标形状来生成两个测量波(44，46)；以及检测器(56)，用于捕获通过在所述测量波(44r，46r)与所述测试表面相互作用之后叠加所述测量波(44r，46r)而生成的至少一个干涉图(64)。

来源：金融界