摘要：哈尔滨工业大学（哈工大）成功研发出中心波长为13.5纳米的极紫外（EUV）光技术，为中国光刻机技术的发展带来了重大突破，也为中国芯片制造业在面临挑战时找到了破局之策。

来源：半导体门户

近期半导体行业传来振奋人心的消息：哈尔滨工业大学（哈工大）成功研发出中心波长为13.5纳米的极紫外（EUV）光技术，为中国光刻机技术的发展带来了重大突破，也为中国芯片制造业在面临挑战时找到了破局之策。

光刻机，作为芯片制造的核心设备，其技术水平对芯片的制程和性能起着决定性作用。然而，长期以来，极紫外光刻机技术一直被国外少数企业所垄断，成为制约中国芯片产业发展的关键因素。此次哈工大科研团队成功攻克极紫外光技术难题，无疑为中国芯片制造业带来了曙光。

中心波长为13.5纳米的极紫外光，是实现7纳米及以下先进制程芯片制造的关键光源。哈工大科研团队凭借深厚的学术积累和不懈的努力，成功填补了国内在这一领域的空白，标志着中国在极紫外光技术研究上取得了重大进展。

这一技术突破对中国芯片产业具有深远意义。首先，它为中国自主研发EUV光刻机奠定了坚实的技术基础，有望打破国外技术垄断，提升中国芯片制造的自主可控能力。其次，这将激励更多国内科研力量投入芯片核心技术的研发，推动芯片产业链的协同发展，加速中国芯片产业追赶国际先进水平的步伐。

业内专家指出，哈工大极紫外光技术的成功研发，不仅体现了中国科技实力的不断提升，也是产学研深度融合的典范。未来，随着该技术的进一步成熟和产业化应用，有望彻底改变中国芯片产业的格局，提升中国在全球芯片竞争中的地位。

目前，哈工大科研团队正积极与国内相关企业和科研机构合作，加快极紫外光技术的工程化和产业化进程，致力于将这一重大科研成果转化为推动中国芯片产业发展的强大动力，为实现中国芯片的自主可控和产业升级贡献力量。

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