摘要：半导体射频电源是可以产生固定频率的正弦波、具有一定频率的高频电源,主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成,是等离子体配套电源。射频功率放大器被认为是半导体射频电源的核心,因此射频功率放大器是制约半导体射频电源发展的关键因素。半导体射频电源由20世纪8

半导体射频电源市场报告主要研究：

半导体射频电源市场规模： 产能、产量、销售、产值、价格、成本、利润等

半导体射频电源行业竞争分析：原材料、市场应用、产品种类、市场需求、市场供给，下游市场分析、供应链分析、主要企业情况、市场份额、并购、扩张等

半导体射频电源是可以产生固定频率的正弦波、具有一定频率的高频电源,主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成,是等离子体配套电源。射频功率放大器被认为是半导体射频电源的核心,因此射频功率放大器是制约半导体射频电源发展的关键因素。半导体射频电源由20世纪80年代的电子管半导体射频电源发展到现在的晶体管半导体射频电源,经历了漫长的发展过程。功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦,，频率有2、4、13.56、27.12、40.68MHz、60MHz等不同范围。目前半导体射频电源被广泛应用于半导体工艺设备、LED与太阳能光伏行业、科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域。

半导体射频电源根据采用的功率放大器类型不同,可分为电子管半导体射频电源与晶体管半导体射频电源(又称为全固态半导体射频电源)。射频功率放大器的发展较为缓慢,直到1904年电子管的出现,才开始被正式应用于各领域口,这是因为电子管从根本上解决了射频功率放大器的器件问题。但是电子管本身存在很多问题:首先它的体积非常大,在某些精密领域限制了电子管半导体射频电源的应用;其次电子管半导体射频电源的寿命还不到晶体管半导体射频电源的一半,最重要的是它的制造工艺非常复杂,因此随着晶体管的发展,电子管逐渐被淘汰。同电子管相比,晶体管半导体射频电源的体积要小很多,同时它的损耗低,寿命长,产生很少的热量。

2023年全球半导体半导体射频电源市场规模大约为9.24亿美元，预计2030年将达到14.19亿美元，2024-2030期间年复合增长率（CAGR）为6.2%。

全球半导体半导体射频电源（RF Power Supply for Semiconductor）的核心厂商包括万机仪器、AdvancedEnergy、康姆艾德、DAIHEN Corporation和通快。排名前三的企业所占份额约为51%。亚太是最大的市场，市场份额约为69%，第二名和第三名是北美和欧洲，份额分别为19%和11%。就产品类型而言，27.12Mhz是最大的细分市场，占有率超过32%。就应用而言，蚀刻是最大的市场，占有率大约为41%。

半导体半导体射频电源行业发展主要特点

（1）随着电力电子技术的发展，半导体射频电源由电子管电源发展成现在的晶体管半导体射频电源。氮化镓GaN（galliumnitride）作为第三代宽禁带半导体材料的典型代表，具有宽禁带、高临界击穿场强、高电子饱和漂移速度以及高导通的AlGaN/GaN异质结二维电子气2DEG（two-dimensional electrons gas）等优点。GaN功率器件与硅（Si）功率器件相比，具有导通阻抗低，输入、输出电容小等特性，这些特性使得GaN功率器件高开关速度、低损耗。在E类功率半导体射频电源的基础上，采用GaN功率器件设计制作了一款开关频率为4 MHz、功率可调的全固态半导体射频电源实验样机。通过电路的设计和优化，样机的输出功率为21.4 W时，效率达到了96.7%；同时，采用专为半导体射频电源生产的Si功率器件替换掉样机上的GaN器件，实验数据验证了GaN器件开关速度快、损耗低，可大幅度提高半导体射频电源的效率。

（2）半导体射频电源一般由射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和射频功率检测器组成。按照放大电路的核心元器件划分，可分为电子管式半导体射频电源和固态半导体射频电源，其中电子管式半导体射频电源采用电子管作为功率放大元件，而固态半导体射频电源则采用晶体管作为功率放大元件。当前，国内厂商的产品以电子管式半导体射频电源为主，虽然其具有较大的阻抗失配承受能力，但是因为存在着易老化、输出功率不稳定和工作电压高等缺点，只能作为一般教学科研设备中的部件。国外主流厂商，例如美国优仪（Advanced Energy）、XP Power公司和万机仪器（MKS）公司，均采用晶体管作为功率放大元件，提供的固态半导体射频电源已经广泛使用于主流的半导体工艺生产线。

（3）数字电源的发展，电源的控制单元分别与射频时钟发生器单元和电压可调直流电源相连，射频时钟发生单元的输出和电压可调直流电源的输出均与功率放大单元连接，功率放大单元的功率输出经功率合成器合成后，再经定向耦合器测量入射功率和反射功率后，定向耦合器的测量信号输出与控制单元连接。该电源采用调节功率驱动级驱动脉冲的高度和宽度的方式来控制射频功率输出，工作效率高，控制可靠，而且电源的重要工作参数都能通过控制单元中的主CPU进行实时采集、分析，并通过控制单元中的主CPU对控制参数进行设定，如果参数出现异常则能及时对电源进行保护，从而大大提高了半导体射频电源的工作效率和可靠性。

半导体半导体射频电源行业发展总体概况

半导体半导体射频电源是可以产生固定频率的正弦波、具有一定频率的高频电源，主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成，半导体射频电源作为等离子体配套电源，频率在射频范围内（约3KHz～300GHz）。 广泛应用于半导体蚀刻、CVD和PCV等领域。

目前我国先进的等离子体设备使用的半导体射频电源,与国外同类电源相比还存在一定差距,要超赶上国际水平,还需要做很多工作:

1)目前我国的半导体射频电源采用大多是电子管或电子管、晶体管混合电路,体积较大,限制了它的应用。并且使用的晶体管大多为国外进口,因此,需要研制我国自主核心的晶体管,研制新技术、新元器件,使半导体射频电源小型化

2)目前我国使用的还是阻抗手动匹配器,容易受环境因素的影响,而国外已开始使用阻抗自动匹配器,在工业自动化领域发挥着重要的作用,因此,高精度、高速度的阻抗自动匹配器是未来发展的必然趋势。

3)与国外半导体射频电源相比,我国半导体射频电源种类较为单一,今后还应该进行宽频带电源、微波电源、高功率半导体射频电源等不同类型半导体射频电源的研制。

（Win Market Research）辰宇信息

报告分析半导体射频电源行业竞争格局，包括全球市场主要厂商竞争格局和中国本土市场主要厂商竞争格局，重点分析全球主要厂商半导体射频电源产能、销量、收入、价格和市场份额，全球半导体射频电源产地分布情况、中国半导体射频电源进出口情况以及行业并购情况等。如果您有兴趣了解详情，薇 joie ：chenyu-joie 同时了解更多前沿报告及报价。针对半导体射频电源行业产品分类、应用、行业政策、产业链、生产模式、销售模式、行业发展有利因素、不利因素和进入壁垒也做了详细分析。

全球及中国主要厂商包括：

Advanced Energy

万机仪器

康姆艾德

DAIHEN Corporation

通快

Adtec Plasma Technology

京三制作所

XP Power

爱发科

日本电子株式会社

北广科技

ASE

Seren IPS

Pearl Kogyo

深圳市恒运昌真空技术有限公司

New Power Plasma

Youngsin RF Co., Ltd

上海伊恩埃半导体科技股份有限公司

RF Power Tech

EQ Global

Coaxis Power Systems

按照不同产品类型，包括如下几个类别：

13.56MHz

27.12Mhz

40.68MHz

60MHz

400kHz

2Mhz

4Mhz

其他

按照不同应用，主要包括如下几个方面：

蚀刻

CVD

PVD

其他

报告包含的主要地区和国家：

北美（美国和加拿大）

欧洲（德国、英国、法国、意大利和其他欧洲国家）

亚太（中国、日本、韩国、中国台湾地区、东南亚、印度等）

拉美（墨西哥和巴西等）

中东及非洲地区（土耳其和沙特等）

报告正文共11章，各章节主要内容如下：

第1章：报告统计范围、产品细分、下游应用领域，以及行业发展总体概况、有利和不利因素、进入壁垒等；

第2章：全球市场供需情况、中国地区供需情况，包括主要地区半导体射频电源产量、销量、收入、价格及市场份额等；

第3章：全球主要地区和国家，半导体射频电源销量和销售收入，2019-2023，及预测2024到2030；

第4章：行业竞争格局分析，包括全球市场企业排名及市场份额、中国市场企业排名和份额、主要厂商半导体射频电源销量、收入、价格和市场份额等；

第5章：全球市场不同类型半导体射频电源销量、收入、价格及份额等；

第6章：全球市场不同应用半导体射频电源销量、收入、价格及份额等；

第7章：行业发展环境分析，包括政策、增长驱动因素、技术趋势、营销等；

第8章：行业供应链分析，包括产业链、主要原料供应情况、下游应用情况、行业采购模式、生产模式、销售模式及销售渠道等；

第9章：全球市场半导体射频电源主要厂商基本情况介绍，包括公司简介、半导体射频电源产品规格型号、销量、价格、收入及公司最新动态等；

第10章：中国市场半导体射频电源进出口情况分析；

第11章：中国市场半导体射频电源主要生产和消费地区分布。

内容选自《辰宇信息咨询 /全球及中国半导体射频电源行业研究及十五五规划分析报告》

报告内容目录

1 半导体射频电源市场概述

1.1 半导体射频电源行业概述及统计范围

1.2 按照不同类型，半导体射频电源主要可以分为如下几个类别

1.2.1 不同类型半导体射频电源增长趋势2019 VS 2023 VS 2030

1.3 从不同尺寸或应用，半导体射频电源主要包括如下几个方面

1.3.1 不同尺寸或应用半导体射频电源增长趋势2019 VS 2023 VS 2030

1.4 行业发展现状分析

1.4.1 半导体射频电源行业发展总体概况

1.4.2 半导体射频电源行业发展主要特点

1.4.3 半导体射频电源行业发展影响因素

1.4.4 进入行业壁垒

2 行业发展现状及“十四五”前景预测

2.1 全球半导体射频电源供需现状及预测（2019-2030）

2.1.1 全球半导体射频电源产能、产量、产能利用率及发展趋势（2019-2030）

2.1.2 全球半导体射频电源产量、需求量及发展趋势（2019-2030）

2.1.3 全球主要地区半导体射频电源产量及发展趋势（2019-2030）

2.2 中国半导体射频电源供需现状及预测（2019-2030）

2.2.1 中国半导体射频电源产能、产量、产能利用率及发展趋势（2019-2030）

2.2.2 中国半导体射频电源产量、市场需求量及发展趋势（2019-2030）

2.2.3 中国半导体射频电源产能和产量占全球的比重（2019-2030）

2.3 全球半导体射频电源销量及收入（2019-2030）

2.3.1 全球市场半导体射频电源收入（2019-2030）

2.3.2 全球市场半导体射频电源销量（2019-2030）

2.3.3 全球市场半导体射频电源价格趋势（2019-2030）

2.4 中国半导体射频电源销量及收入（2019-2030）

2.4.1 中国市场半导体射频电源收入（2019-2030）

2.4.2 中国市场半导体射频电源销量（2019-2030）

2.4.3 中国市场半导体射频电源销量和收入占全球的比重

3 全球半导体射频电源主要地区分析

3.1 全球主要地区半导体射频电源市场规模分析：2019 VS 2023 VS 2030

3.1.1 全球主要地区半导体射频电源销售收入及市场份额（2019-2024年）

3.1.2 全球主要地区半导体射频电源销售收入预测（2024-2029年）

3.2 全球主要地区半导体射频电源销量分析：2019 VS 2023 VS 2030

3.2.1 全球主要地区半导体射频电源销量及市场份额（2019-2024年）

3.2.2 全球主要地区半导体射频电源销量及市场份额预测（2024-2029）

3.3 北美（美国和加拿大）

3.3.1 北美（美国和加拿大）半导体射频电源销量（2019-2030）

3.3.2 北美（美国和加拿大）半导体射频电源收入（2019-2030）

3.4 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家）

3.4.1 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家）半导体射频电源销量（2019-2030）

3.4.2 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家）半导体射频电源收入（2019-2030）

3.5 亚太地区（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等）

3.5.1 亚太（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等）半导体射频电源销量（2019-2030）

3.5.2 亚太（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等）半导体射频电源收入（2019-2030）

3.6 拉美地区（墨西哥、巴西等国家）

3.6.1 拉美地区（墨西哥、巴西等国家）半导体射频电源销量（2019-2030）

3.6.2 拉美地区（墨西哥、巴西等国家）半导体射频电源收入（2019-2030）

3.7 中东及非洲

3.7.1 中东及非洲（土耳其、沙特等国家）半导体射频电源销量（2019-2030）

3.7.2 中东及非洲（土耳其、沙特等国家）半导体射频电源收入（2019-2030）

4 行业竞争格局

4.1 全球市场竞争格局分析

4.1.1 全球市场主要厂商半导体射频电源产能市场份额

4.1.2 全球市场主要厂商半导体射频电源销量（2019-2024）

4.1.3 全球市场主要厂商半导体射频电源销售收入（2019-2024）

4.1.4 全球市场主要厂商半导体射频电源销售价格（2019-2024）

4.1.5 2021年全球主要生产商半导体射频电源收入排名

4.2 中国市场竞争格局

4.2.1 中国市场主要厂商半导体射频电源销量（2019-2024）

4.2.2 中国市场主要厂商半导体射频电源销售收入（2019-2024）

4.2.3 中国市场主要厂商半导体射频电源销售价格（2019-2024）

4.2.4 2021年中国主要生产商半导体射频电源收入排名

4.3 全球主要厂商半导体射频电源产地分布及商业化日期

4.4 全球主要厂商半导体射频电源产品类型列表

4.5 半导体射频电源行业集中度、竞争程度分析

4.5.1 半导体射频电源行业集中度分析：全球头部厂商份额（Top 5）

4.5.2 全球半导体射频电源第一梯队、第二梯队和第三梯队生产商（品牌）及市场份额

5 不同类型半导体射频电源分析

5.1 全球市场不同类型半导体射频电源销量（2019-2030）

5.1.1 全球市场不同类型半导体射频电源销量及市场份额（2019-2024）

5.1.2 全球市场不同类型半导体射频电源销量预测（2024-2029）

5.2 全球市场不同类型半导体射频电源收入（2019-2030）

5.2.1 全球市场不同类型半导体射频电源收入及市场份额（2019-2024）

5.2.2 全球市场不同类型半导体射频电源收入预测（2024-2029）

5.3 全球市场不同类型半导体射频电源价格走势（2019-2030）

5.4 中国市场不同类型半导体射频电源销量（2019-2030）

5.4.1 中国市场不同类型半导体射频电源销量及市场份额（2019-2024）

5.4.2 中国市场不同类型半导体射频电源销量预测（2024-2029）

5.5 中国市场不同类型半导体射频电源收入（2019-2030）

5.5.1 中国市场不同类型半导体射频电源收入及市场份额（2019-2024）

5.5.2 中国市场不同类型半导体射频电源收入预测（2024-2029）

6 不同应用半导体射频电源分析

6.1 全球市场不同应用半导体射频电源销量（2019-2030）

6.1.1 全球市场不同应用半导体射频电源销量及市场份额（2019-2024）

6.1.2 全球市场不同应用半导体射频电源销量预测（2024-2029）

6.2 全球市场不同应用半导体射频电源收入（2019-2030）

6.2.1 全球市场不同应用半导体射频电源收入及市场份额（2019-2024）

6.2.2 全球市场不同应用半导体射频电源收入预测（2024-2029）

6.3 全球市场不同应用半导体射频电源价格走势（2019-2030）

6.4 中国市场不同应用半导体射频电源销量（2019-2030）

6.4.1 中国市场不同应用半导体射频电源销量及市场份额（2019-2024）

6.4.2 中国市场不同应用半导体射频电源销量预测（2024-2029）

6.5 中国市场不同应用半导体射频电源收入（2019-2030）

6.5.1 中国市场不同应用半导体射频电源收入及市场份额（2019-2024）

6.5.2 中国市场不同应用半导体射频电源收入预测（2024-2029）

7 行业发展环境分析

7.1 半导体射频电源行业发展趋势

7.2 半导体射频电源行业主要驱动因素

7.3 半导体射频电源中国企业SWOT分析

7.4 中国半导体射频电源行业政策环境分析

7.4.1 行业主管部门及监管体制

7.4.2 行业相关政策动向

7.4.3 行业相关规划

8 行业供应链分析

8.1 全球产业链趋势

8.2 半导体射频电源行业产业链简介

8.2.1 半导体射频电源行业供应链分析

8.2.2 半导体射频电源主要原料及供应情况

8.2.3 半导体射频电源行业主要下游客户

8.3 半导体射频电源行业采购模式

8.4 半导体射频电源行业生产模式

8.5 半导体射频电源行业销售模式及销售渠道

9 全球市场主要半导体射频电源厂商简介

企业一

企业一公司信息、半导体射频电源生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

企业一半导体射频电源产品规格、参数及市场应用

企业一半导体射频电源销量、收入、价格及毛利率（2019-2024）

企业一公司简介及主要业务

企业一企业最新动态

10 中国市场半导体射频电源产量、销量、进出口分析及未来趋势

10.1 中国市场半导体射频电源产量、销量、进出口分析及未来趋势（2019-2030）

10.2 中国市场半导体射频电源进出口贸易趋势

10.3 中国市场半导体射频电源主要进口来源

10.4 中国市场半导体射频电源主要出口目的地

11 中国市场半导体射频电源主要地区分布

11.1 中国半导体射频电源生产地区分布

11.2 中国半导体射频电源消费地区分布

▲资料来源：更多资料请参考《全球及中国半导体射频电源行业研究及十五五规划分析报告》

同时，辰宇信息咨询提供专业市场研究报告、定制研究、管理咨询、IPO咨询、产业链等分析报告，涵盖化工材料、机械设备、医疗设备及耗材、电子半导体、软件、包装、网络及通信、汽车交通、医疗护理、原料药品及保健品等30多个行业。（制造业单项冠军申请和专精特新“小巨人”等项目申请的企业市占率服务。）

来源：Foliage