摘要:六氟化钨(化学式:WF₆)是一种高纯度无机气态化合物,具有高密度、强腐蚀性和剧毒性,常温下为无色气体或浅黄色液体 。其核心应用集中在半导体制造领域,通过化学气相沉积(CVD)工艺在晶圆表面生成高纯度钨膜,用于填充芯片内的通孔和互连线,尤其在逻辑芯片、3D NA
六氟化钨(化学式:WF₆)是一种高纯度无机气态化合物,具有高密度、强腐蚀性和剧毒性,常温下为无色气体或浅黄色液体 。其核心应用集中在半导体制造领域,通过化学气相沉积(CVD)工艺在晶圆表面生成高纯度钨膜,用于填充芯片内的通孔和互连线,尤其在逻辑芯片、3D NAND存储芯片等先进制程中不可或缺。此外,它还可用于光伏电池电极材料、超硬涂层等领域。
六氟化钨概念股梳理
近期,韩国六氟化钨供应商宣布对三星、SK海力士等半导体企业涨价70%-90%,叠加国内钨原料价格上涨,相关产业链公司迎来结构性机遇。以下是核心标的分析:(仅供参考)
一、直接生产商
1. 中船特气
核心地位:全球六氟化钨产能第一(2230吨/年),国内市占率超80%,产品纯度达6N级别(99.9999%),直接供货中芯国际、长江存储、台积电等头部晶圆厂。
技术壁垒:参与国家集成电路刻蚀气攻关项目,技术指标对标国际龙头,深度受益于半导体国产替代和产能扩张。
2. 南大光电
市场份额:国内六氟化钨市占率25%,产品通过ASML认证,已进入台积电供应链,7N级(99.99999%)超高纯产品处于中试验证阶段。
产能规划:内蒙古乌兰察布500吨/年项目已投产,未来将进一步巩固高端市场地位。
3. 巨化股份
产能布局:国内六氟化钨市占率20%,依托氟化工产业链优势,产品覆盖半导体、显示面板等领域,与长江存储、华虹宏力建立长期合作。
政策红利:作为浙江省属国企,深度参与长三角集成电路产业集群建设,享受地方设备购置补贴(最高30%)。
4. 昊华科技
央企背景:国内六氟化钨产能第二(700吨/年),产品纯度达6N级,服务于半导体和光伏行业,其子公司昊华气体是国内特气领域老牌基地。
技术协同:同步研发光刻用电子混配气,未来可与六氟化钨形成配套方案,提升客户粘性。
5. 和远气体
产能扩张:六氟化钨设计产能500吨/年,目前处于试生产阶段,产品纯度达6N标准,已通过长江存储认证,是湖北本地存储芯片产业链的核心供应商。
区域优势:依托武汉、宜昌半导体产业集群,优先承接长江存储等企业的增量需求。
6. 中钨高新
产业链整合:国内最大钨粉末制品基地之一,2023年六氟化钨销售量超1200吨,市场占有率21.4%,具备从钨精矿到化工产品的完整产业链。
应用拓展:产品不仅用于半导体,还可延伸至光伏HJT电池的非晶硅层沉积工艺。
二、上游原材料供应商
1. 厦门钨业
资源壁垒:年产能1.2万吨钨精矿,全球钨资源龙头,六氟化钨生产成本中钨原料占比60%,其上游地位使其在钨价上涨周期中具备显著利润弹性。
技术突破:2024年量产6N级高纯钨,良品率92.4%,已通过长江存储验证并小批量供货,未来有望切入六氟化钨直接生产领域。
2. 章源钨业
原料供应:国内前二的钨粉、碳化钨供应商,拥有钨矿采选、冶炼及深加工全产业链,六氟化钨生产所需的钨原料自给率超80%。
成本优势:钨价五个月内翻倍,公司作为原料端直接受益于六氟化钨涨价带来的业绩提升。
3. 翔鹭钨业
基础材料:主要产品氧化钨、钨粉是六氟化钨的核心原料,2024年产能分别达1.5万吨和8000吨,深度绑定中船特气、南大光电等下游厂商。
出口增长:2023年六氟化钨出口量同比增长23.4%,公司作为原料供应商同步受益于全球供应链转移。
三、氟化工关联企业
1. 多氟多
氟原料协同:六氟化钨生产成本中氟化工原料占比约20%,公司作为国内高性能无机氟化物龙头,电子级氢氟酸产能达12万吨/年,可稳定供应六氟化钨生产所需的氟源。
技术延伸:同步布局半导体用电子特气,未来有望与六氟化钨形成产品矩阵。
2. 永太科技
氟苯中间体:产品包括六氟苯等氟化工原料,虽不直接生产六氟化钨,但作为氟源供应商,间接受益于氟化工景气度提升和半导体材料需求增长。
客户拓展:与台积电、中芯国际等企业建立合作,未来有望切入六氟化钨上游供应链。
四、潜在受益标的
1. 雅克科技
产能储备:通过收购成都科美特切入六氟化钨赛道,浙江博瑞中硝基地一期产能500吨/年已投产,二期规划新增300吨,产品纯度达6N级,主要供应存储芯片厂商。
技术升级:开发原子层沉积(ALD)用超高纯六氟化钨,适配3nm以下先进制程。
2. 中巨芯
产能规划:六氟化钨规划产能600吨/年,依托中化集团资源优势,重点布局长三角集成电路产业集群,预计2026年量产,目标客户为华虹宏力、合肥长鑫等。
政策支持:纳入国家发改委“电子化学品专项工程”,获专项资金支持分子筛吸附低温精馏联合工艺产业化。
行业逻辑与风险提示
核心驱动
1. 半导体国产替代加速:长江存储、长鑫存储等企业232层3D NAND量产,单芯片六氟化钨消耗量较14nm逻辑芯片高出18%,预计2025年国内需求突破3000吨。
2. 钨价上涨传导:2025年钨矿价格同比涨幅超95%,六氟化钨生产成本中钨原料占比60%,韩国供应商涨价70%-90%直接推动国内企业盈利提升。
3. 政策红利释放:工信部将六氟化钨列入《重点新材料首批次应用示范指导目录》,地方政府对半导体材料企业设备购置补贴最高达30%,增值税即征即退70%。
风险因素
1. 技术壁垒:7N级超纯产品仍依赖进口,国内企业氧含量控制(普遍25ppm)与国际龙头(0.5ppm以下)存在差距,高端市场份额不足25%。
2. 行业周期性波动:半导体设备投资增速与六氟化钨价格相关系数达0.82,若2025年后行业下行可能导致价格承压。
3. 环保成本上升:六氟化钨生产涉及氢氟酸使用,新《大气污染物综合排放标准》要求氟化物排放限值收紧至1mg/m³,环保设备改造成本约占项目总投资的15%。
总结
六氟化钨作为半导体制造的“咽喉材料”,在国产替代和技术升级浪潮中具备显著投资价值。建议重点关注中船特气(全球产能龙头)、南大光电(高端产品突破)、厦门钨业(资源+技术双壁垒)等核心标的,同时跟踪和远气体、中巨芯等产能释放进度。战友们可关注2026年钨出口许可制实施后的供应链变化,以及国内企业在7N级产品上的技术突破。
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来源:冀东王
