国庆Fab值班:如何让电话少响一些?

B站影视 港台电影 2025-10-01 09:33 1

摘要:所以总有一批人要留在厂里值班,守着中控屏幕、盯着机台参数,还有那部“永远不敢静音”的手机。最让人揪心的不是不能出去玩,而是手机一响就心跳加速——怕的是“某台刻蚀机报警了”“wafer卡在chamber里了”“夜班同事搞不定软件重启”。

国庆假期的前一周,半导体厂的办公室里总飘着两种声音:一种是“抢到票了吗?”“去哪玩?”的雀跃,另一种是“我值3号到5号”“夜班还是白班?”的小声嘀咕。

对半导体人来说,国庆不是“全员放假”的标配——晶圆不能停转,机台不能停止运转,光刻胶、特种气体这些耗材得盯着库存,车间的温湿度都得实时监控。

所以总有一批人要留在厂里值班,守着中控屏幕、盯着机台参数,还有那部“永远不敢静音”的手机。

最让人揪心的不是不能出去玩,而是手机一响就心跳加速——怕的是“某台刻蚀机报警了”“wafer卡在chamber里了”“夜班同事搞不定软件重启”。

尤其是半导体设备公司的oncall工程师,可能正陪着家人吃国庆饭,手机一震就得扒拉两口饭往厂里赶,或者蹲在饭桌旁开远程会议指导操作。

有人说:“半导体值班的终极梦想,不是放假,是值班时手机能安安静静待够2小时。”

如何让国庆值班的电话“少响一点”——不是躲责任,是把该做的事提前做透,让“小问题”不用打电话,“大问题”能高效对接,最后再聊聊怎么稳住心态,别让电话成了“心理负担”。

一、先搞懂:值班电话为什么总“追着人跑”?

那些值班时的电话,到底从哪来?

1. 交接“缺斤少两”:白班说“没事”,夜班全是“事”

这是最常见的坑。白班下班前,跟夜班交接时随口一句“今天机台都正常,没什么事”,结果夜班一接班,要么发现某台薄膜沉积机的压力参数飘了,要么看到系统里躺着3片待检测的wafer没标状态——夜班不敢动,只能打电话问白班值班员;白班要是走了,就得打给国庆总值班的人。

更坑的是“隐性交接”:比如某台光刻机早上报过一次“激光功率波动”,白班重启后好了,但没写在交接表里,也没跟夜班说。

结果夜班时波动又出现,同事以为是大故障,直接把电话打给了设备厂家的oncall工程师,折腾半天发现“只是重启能解决的小问题”。

2. 夜班/值班员“技能卡壳”:小问题不敢动,只能“打电话求助”

半导体厂的机台操作、软件系统都不算简单,但值班时不可能让“全技能工程师”24小时守着——很多时候夜班是助理工程师,或者轮岗的新人,对“小故障”的处理没底。

比如软件突然卡死,界面停在“wafer传输中”,新人不敢强行关闭,怕数据丢失;再比如wafer卡在load port(装载口),不知道先查“安全联锁有没有解锁”,还是先按“应急退出键”;甚至电脑蓝屏,都不知道重启后怎么恢复机台的操作权限——这些在老工程师眼里“5分钟搞定”的事,新人只能打电话问,一来二去,值班员的手机就没停过。

3. 设备公司和半导体厂“对接断档”:该远程的非要打电话,该提前说的没说

设备公司的oncall工程师更冤:有时候半导体厂值班员遇到的问题,其实远程发个日志、指导点两下就能解决,但因为没提前说“远程协助的流程”,值班员直接打电话让“马上过来一趟”;还有时候,设备公司明明发过“常见故障处理手册”,但半导体厂值班员没看过,遇到问题还是第一时间打电话。

反过来,半导体厂要是没提前跟设备公司说“国庆期间某几台机台在做‘老化测试’,可能会有假报警”,设备工程师接到电话就得慌慌张张往现场跑,到了才发现“是正常测试波动”。


不过由于Fab厂是顾客,设备公司是客服,面对客户的电话,也只能随叫随到,谁叫他们付钱了呢。

二、第一招:交接“抠细节”,把“隐患”掐在交接班会议上

想让值班电话少响,第一步不是“教技能”,是“把交接做透”——交接表多写一行,可能就能少一个电话;现场多走一步,可能就能少一次折腾。

1. 别再写“一切正常”!交接表要“抠到具体参数”

很多半导体厂的交接表太笼统,“机台状态”栏就写“正常”“运行中”,这等于没写。国庆值班的交接表,得往“细”里填,比如:

• 机台状态:不光写“正常”,要写“刻蚀机A:上午10点报过一次‘真空度缓慢下降’,重启真空泵后恢复,当前真空度8.2e-6 Pa(标准值≤1e-5 Pa);

光刻机B:激光功率稳定在98%(标准值95%-102%),无报警记录”。

• wafer状态:写清“当前在产批次:Lot12345,已完成20片,剩余10片;待检测wafer:Lot67890,共5片,需在凌晨2点前送测,检测报告发至XX邮箱”。

• 待处理事项:别写“跟进耗材”,要写“光刻胶库存剩余3瓶,低于安全库存(5瓶),已申请紧急补货,预计10月2日上午到货,到货后存至2号冷库,登记台账”。

• 异常记录:哪怕是“已解决的小问题”,也要写“上午9点软件闪退,按‘Ctrl+Shift+Esc’结束进程后重启,恢复正常,日志已存至D盘‘异常记录-10.1’文件夹”。

简单说:交接表要做到“换个人来,不用打电话,看着表就能知道‘现在该做什么、之前发生过什么、要注意什么’”。

2. 交接别只“递表”,要“现场走一圈”

口头说一百句,不如现场看一眼。尤其是国庆值班,白夜班交接时,一定要拉着对方走一趟车间,重点看这3个地方:

• 有异常记录的机台:指着刻蚀机A的屏幕说“你看,这里的真空度曲线,上午有点波动,重启后平了,你值班时每小时看一次,要是再往下掉,先按这个‘紧急补气’键,再记参数”;

• 待处理的wafer:走到load port旁说“这5片是待检测的,标签上标了‘优先测边缘缺陷’,等下送测时跟检测岗说一声,结果直接发群里”;

• 应急物资/工具:指着工具箱说“里面有备用的数据线、U盘,U盘里存了常用软件的安装包,要是电脑蓝屏,重启后按这个步骤装软件”。

有个半导体厂的值班组长跟我说,他们现在交接时还要“拍照片留证”——比如机台参数界面、wafer摆放位置、耗材库存,拍了照发在值班群里,就算夜班同事忘了,翻群记录就能看,不用再打电话问。

3. 留“分级联系人”,别让电话“瞎转”

很多时候电话多,是因为“不知道该打给谁”。比如夜班同事遇到“软件故障”,先打给白班值班员,白班说“找设备厂家”,再打给设备工程师,绕了一圈才发现“厂内技术员就能解决”。

所以交接时一定要留“分级联系人表”,写清楚:

• 一级联系人:厂内值班技术员(负责小故障、流程对接),电话+微信,响应时间≤10分钟;

• 二级联系人:设备厂家oncall工程师(按机台分,比如刻蚀机找张工,光刻机找李工),电话+远程协助账号,响应时间≤30分钟;

• 三级联系人:部门主管(仅重大故障,比如机台停机超过1小时、wafer报废风险),电话,非紧急不打扰。

还要备注“什么情况找哪级”:比如“软件重启、参数核对找一级;机台报警代码E001-E100找一级,E101以上找二级;wafer卡chamber超过20分钟没解决找二级”。

这样一来,夜班同事不用“瞎打电话”,直接按表找对应人,电话自然就少了。

三、第二招:给夜班“划重点”,小故障自己搞定,别让电话“连环炸”

1. 先列“值班必学3大技能”:软件、wafer、电脑,够用就行

半导体厂值班时,80%的电话都来自“软件卡死”“wafer卡壳”“电脑故障”这三类小问题。提前把这三个技能教给夜班同事,能少一半电话。

(1)软件卡死:别慌,先“结束进程”再重启

很多人遇到软件卡死,第一反应是“拔电源”,这反而容易丢数据。正确步骤要教透:

• 第一步:看界面提示——如果显示“wafer传输中”“数据保存中”,别碰!等5分钟,可能是系统卡了,强行关闭会导致wafer定位错误;

• 第二步:要是界面不动,按“Ctrl+Shift+Esc”打开任务管理器,找到对应的软件进程(比如“EtchControl.exe”“LithoSoft.exe”),右键“结束任务”(别点“强制结束”,先试普通结束);

• 第三步:重启软件,登录时选“恢复上次会话”——如果提示“数据异常”,打开D盘“软件备份”文件夹,找到最近的备份文件(命名格式“日期+时间+软件名”),导入就能恢复;

• 注意:如果重启后还是卡死,看软件右上角的“报警代码”,记下来找一级联系人,别反复重启。

可以把这个步骤做成“图文卡”,贴在中控室的电脑旁,夜班同事一看就会,不用再打电话问。

(2)wafer卡壳:分“位置”处理,别硬拔

wafer卡壳是值班高频问题,但不同位置(load port、传输臂、chamber)的处理方法不一样,要教“分场景操作”:

• 卡在load port(装载口):

1. 先看load port的“安全灯”——如果是绿色,按“解锁键”(一般是红色按钮),等3秒再拉门;如果是红色,说明系统还在锁死,别拉!先按“紧急停止”(ES按钮),再联系一级联系人;

2. 拉开门后,看wafer有没有倾斜——没倾斜的话,用专用镊子(别用手!)轻轻把wafer拿出来,放在旁边的“备用载具”里,记下班次、Lot号,拍照发值班群;

3. 要是倾斜了,别碰!直接打电话找二级联系人(设备工程师),因为倾斜可能蹭到内壁,导致碎片。

• 卡在传输臂上:

1. 先在操作界面点“传输臂复位”(一般在“维护模式”里),等10秒,看能不能自动归位;

2. 归位不了的话,按“急停”,然后联系一级联系人——传输臂精度高,自己别动,避免机械损坏。

• 卡在chamber里:

1. 绝对别自己开chamber!先看界面上的“chamber压力”——如果显示“正压”,等压力降到“常压”(1atm);如果是“负压”,先按“破真空”按钮(要输密码,交接表上记着);

2. 压力正常后,联系二级联系人,发“chamber编号+卡壳时间+界面截图”,等远程指导——chamber里有光刻胶残留、高温部件,自己操作容易出安全问题。

核心原则:“能复位就复位,能手动拿的(load port)就拿,涉及传输臂、chamber的,别自己动,记参数、发截图、等指导”。

(3)电脑蓝屏:重启后“先恢复权限,再查数据”

值班电脑蓝屏很常见,但很多人重启后不知道怎么恢复机台操作权限,只能打电话。教两步:

• 第一步:重启后,先看“是否能登录系统”——如果能登录,打开“机台权限管理软件”(图标一般是盾牌),输入值班员账号密码(交接表上有),勾选“操作权限”“参数查看权限”,点“激活”;

• 第二步:如果登录不了,插备用U盘(交接时说的工具箱里),运行“系统恢复程序”,选“最近一次正常配置”,恢复后再登录权限软件;

• 注意:电脑里的“机台日志”存在C盘以外的盘(比如E盘“Log”文件夹),蓝屏不会丢,别慌。

2. 做“故障速查手册”:按“报警代码”查,比打电话快

半导体机台的报警代码有上百个,但值班时遇到的高频代码就20个左右。提前把这些代码整理成“速查手册”,夜班同事按代码查,不用打电话。

手册格式可以这样:

手册可以打印出来,订在中控室的桌子上,也可以存成PDF发在值班群里,用手机就能查。有个设备公司的oncall工程师跟我说,他们给合作的半导体厂做了“代码语音查询”——扫个二维码,说“报警E003”,就能跳出处理步骤,夜班同事用着很方便。

3. 提前“模拟演练”:别等值班时“手忙脚乱”

光教不行,得让夜班同事“动手练一遍”。国庆前一周,抽1小时做个“值班小演练”:

• 找一台备用电脑,模拟“软件卡死”,让同事按步骤结束进程、重启、恢复数据;

• 用空的wafer载具,模拟“卡在load port”,让同事练“解锁、拿取、记录”;

• 故意把电脑设成“蓝屏”,让同事练“系统恢复、权限激活”。

演练时别嫌麻烦,比如有人忘了“先看chamber压力再操作”,当场指出来,比值班时打电话教强10倍。

有个半导体厂的主管说,他们演练后,国庆值班的“软件故障电话”从每天5个降到了1个。

四、第三招:设备公司oncall:做好“远程支援”,别当“救火队员”

半导体厂的电话少了,设备公司的oncall工程师也能少跑几趟。关键是“提前对接”“远程能搞定的别现场”。

1. 国庆前“发一次‘支援包’”:手册+远程账号,一次给齐

设备公司别等半导体厂打电话再发资料,国庆前3天就把“支援包”发过去,里面包括:

• 分机台的故障速查手册:比如给光刻机组发“光刻机国庆值班速查手册”,重点标“国庆期间高发故障”(比如假期机台使用率低,容易出现“部件休眠报警”);

• 远程协助工具包:比如TeamViewer、向日葵的安装包,提前帮半导体厂值班员装好,测试远程连接是否顺畅,账号密码记在“分级联系人表”里;

• 应急备件位置:比如“某半导体厂的刻蚀机备用传感器在2号备件库A架3层,型号XX-001”,万一需要换备件,值班员能直接找,不用打电话问“备件在哪”。

有个设备公司的oncall团队更细致,他们给半导体厂做了“远程支援流程图”:“遇到问题→先查速查手册→搞不定的话,发‘报警代码+界面截图+日志文件’到XX邮箱→工程师15分钟内远程连接→远程解决不了再安排现场”。这样一来,半导体厂值班员知道“该先做什么”,不会直接打电话让“过来一趟”。

2. 远程支援“盯细节”:别让“沟通不畅”浪费时间

远程协助时,最容易因为“说不清楚”导致电话反复打。比如设备工程师说“点左上角的‘维护’按钮”,但半导体厂值班员找了半天没找到——因为软件版本不一样,按钮位置变了。

所以远程前要提前说清:

• 软件版本:国庆前确认半导体厂机台的软件版本,发对应的“操作截图”(比如“V3.2版本的‘维护’按钮在右上角,红框标了”);

• 日志怎么导:教值班员“在操作界面点‘系统’→‘日志导出’→选‘最近1小时’→保存到桌面,发邮箱”,别等远程时再教;

• 远程时别挂电话:远程连接时,让值班员把电话通着,工程师说“点这个按钮”,值班员回应“点完了,显示XXX”,实时沟通,比挂了电话再打强。

有个oncall工程师跟我说,他国庆值班时远程解决过一个问题:半导体厂值班员说“刻蚀机不进料”,他让发日志,发现是“进料阀没开”——远程指导点了“开阀”按钮,3分钟就搞定,要是让值班员打电话问、再跑现场,至少得半小时。

3. 提前“预判故障”:把“问题”解决在国庆前

设备公司要是知道某台机台“快到保养期了”“某个部件容易出问题”,别等国庆值班时出故障再处理,提前在节前搞定:

• 比如某台薄膜沉积机的“加热管”用了快1年,国庆期间可能会坏,节前就上门换了;

• 比如某半导体厂的光刻胶涂胶系统,之前出现过“假期停机后重启报错”,节前远程帮他们做了“休眠设置”,避免国庆重启出问题。

这样一来,国庆值班时“少出故障”,自然就少打电话。

五、最后:心态稳了,电话响了也不怕

就算交接做透了、技能教了,值班电话也不可能完全不响——毕竟半导体生产是“24小时连轴转”,总有意外。这时候心态就很重要:别让电话一响就慌,也别把“接电话”当成负担。

1. 先区分“真紧急”和“假警报”:别让“小事”慌了神

值班时电话响了,先深吸一口气,问清楚“什么问题、在哪、多久了”,先判断是不是“真紧急”:

• 真紧急:机台停机超过30分钟、wafer有报废风险、安全报警(比如气体泄漏)——这种情况赶紧按“分级联系人”处理,别耽误;

• 假警报:软件闪退(重启能好)、参数轻微波动(在允许范围内)、待处理事项确认(比如“这wafer要不要送测”)——这种情况自己按流程搞定,不用慌。

有个半导体厂的值班员跟我说,他之前国庆值班,凌晨2点接到电话,说“某台机台报警了”,他慌着穿衣服往厂里赶,到了发现是“夜班同事没看清,把‘预警’当成了‘报警’”——白跑一趟,还影响了睡眠。后来他总结:“接电话先问‘报警代码多少’‘参数多少’,心里有数了再动,别慌。”

2. 给手机“分个类”:重要电话不漏,无关电话不扰

国庆值班时,手机别“全天静音”,也别“全天响铃”——可以设置“免打扰模式”,只让“分级联系人”的电话打进来:

• 苹果手机:设置“专注模式-工作”,添加“一级、二级联系人”为“允许通知”,其他电话静音;

• 安卓手机:设置“免打扰”,勾选“允许联系人-自定义”,添加值班相关的人,其他电话拦截。

这样一来,亲戚朋友的“国庆快乐”短信、广告电话不会打扰你,但值班的重要电话能及时接到——既不用总盯着手机,也不用怕漏接电话。

3. 别觉得“值班是吃亏”:守着厂平稳运行,也是一种成就感

很多人国庆值班会emo:“别人出去玩,我守着厂,太亏了”。其实换个角度想:半导体是“国之重器”,国庆期间晶圆不停转,就是在保障产业链稳定——你守着的不是机台,是“芯片生产不停步”。

而且值班时电话少了,你可以在中控室看看书、写写字,没人打扰;要是厂内平稳,甚至能喝着咖啡看国庆阅兵直播——这种“安静又有责任感”的假期,也挺特别。

有个设备公司的oncall工程师说:“去年国庆我值班,帮半导体厂远程解决了一个小故障,他们晚上发了张‘车间灯火通明’的照片,说‘多亏你,晶圆没耽误’,那一刻觉得挺值的。”

国庆值班,愿你电话少响,咖啡不凉

半导体人的国庆,没有“说走就走的旅行”,只有“24小时在线的责任”。但只要把交接做透、把技能教好、把心态稳住,就能让值班电话“少响一点”——不用总盯着手机,不用慌慌张张跑现场,能安安稳稳守着厂,也算一种“别样的国庆”。

最后祝所有国庆值班的半导体人:机台平稳,电话少响,咖啡不凉,假期虽在岗位,也能有片刻轻松。

毕竟,你守着芯片转,我们守着你——国庆快乐。

互动话题:来聊聊你的“半导体值班故事”

1. 国庆值班的家人们,你接过最“哭笑不得”的值班电话是什么?是“软件重启就能好却慌着喊你”,还是“以为大故障结果是假警报”?来评论区吐槽下~

2. 关于“少接值班电话”,你有没有私藏绝招?比如交接表的“隐藏细节”、教夜班同事的“懒人技能”,或者设备oncall的远程小技巧,快分享出来帮大家避坑!

3. 值班时怎么让自己“不emo”?是备着爱吃的零食,还是趁机台平稳偷偷看会儿阅兵?聊聊你值班时的“小确幸”~

来源:Semi Dance

来源:芯片测试赵工

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