《光刻之下》(一) 苏弥的防护服内衬已被冷汗浸透。她盯着电子显微镜的成像屏——那片本应完美如蜂巢的3nm芯片沟槽中,一道锯齿状暗纹正随电子束扫描微微颤动,像毒蛇吐信。“第七次重复实验,Z轴偏移量0.32埃。”量子探针的机械臂在真空腔体内无声移动,纳米级钨针尖刺入沟槽时激起一串数据 光刻 程野 清源 光刻之下 陈谨 2025-04-12 09:03 3