晶圆表面

清软微视申请用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头专利，实现晶圆表面缺陷检测的镜头革新

国家知识产权局信息显示，清软微视（杭州）科技有限公司申请一项名为“一种用于晶圆表面缺陷检测的物镜镜头”的专利，公开号 CN 119781146 A，申请日期为2025年3月。