alscn合金

Chem. Mater.: 应变工程增强AlScN合金的压电/铁电性能

AlScN是一种极具前景的新型铁电材料，具有优异的高温稳定性和CMOS兼容性，使其成为5G射频前端滤波器、下一代功率器件、存储器和新兴内存计算器件的潜在候选材料。然而，相对较低的压电系数和巨大的矫顽场仍然是其广泛应用的关键瓶颈。