国产光刻机

中颖电子否认“国产光刻机厂商”借壳上市传闻

近日，对于市场传闻称中颖电子可能作为壳资源，吸收合并国产光刻机厂商——上海微电子上市一事，中颖电子在投资者互动平台回复时表示：“不清楚传闻来源，请以公司公告为准。当前只会考虑IC设计公司。

8月1日，璞璘科技宣布其自主研发的步进式纳米压印设备正式交付，实现了线宽小于10nm的纳米压印光刻工艺，核心指标超越日本佳能同类产品。