ASML申请基于多模光纤成像的量测系统和光刻设备专利，辨别衍射阶对的强度 国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“基于多模光纤成像的量测系统和光刻设备”的专利，公开号CN120476347A，申请日期为2023年11月。 多模光纤 asml 光刻 光刻设备 多模光纤成像 2025-08-12 11:53 3
