静电mems

静电MEMS谐振驱动技术的比较研究

静电驱动因其独特的优势而被广泛应用于微机电系统（MEMS）中。然而，它需要高电压，这通常由电源和高压放大器提供，但高压放大器的增益会受到限制，尤其是在高频率时。为此，人们提出了各种方法，通过将馈入系统的电压信号串联耦合到LC谐振电路来放大该电压信号。