在介质薄膜的沉积过程中，除了薄膜质量如均匀性、致密性、间隙填充及台阶覆盖能力备受关注外，介质材料的介电常数k也成为了焦点，因其直接关联到芯片的性能表现。下面将深入探讨介电常数k的重要性，并逐一阐述低k、超低k及高k材料的发展与应用。

芯片 k值 sion 2025-02-09 09:56  7