沉积高纯

内蒙古亨芯石英取得沉积高纯石英环的装置及方法专利

国家知识产权局信息显示，内蒙古亨芯石英有限公司取得一项名为“一种沉积高纯石英环的装置及方法”的专利，授权公告号CN 118910581 B ，申请日期为2024年10月。