微机电系统（MEMS）加速度计在惯性制导、地震探测、可穿戴设备、智能机器人等领域有着广泛的应用。为了获得理想的MEMS谐振器，迫切需要一种便于驱动和检测的材料。单晶石英具有天然的压电效应，可通过在其表面放置电极并施加交流电压来驱动其进入特定模式，无需额外结构即

石英 mems 低噪声振荡 2025-01-01 20:49  2