多重曝光

前驱体材料发展概况及发展趋势

前驱体材料在集成电路制造领域占据重要位置,系集成电路技术发展的关键材料之一。前驱体材料主要应用于集成电路晶圆制造前道工艺中的薄膜沉积工艺,在气相沉积过程中形成符合集成电路制造要求的各类薄膜层。

材料 ald 多重曝光 2024-12-27 11:56  5