MEMS芯片基本概念 MEMS(Micro - Electro - Mechanical System)芯片,即微机电系统芯片,是一种融合了微电子技术和微机械加工技术的高科技产品。以下是详细介绍: 芯片 mems mems芯片 2024-12-25 10:43 8