泛林首推半导体维护协作机器人Dextro，晶圆厂效率能否一飞冲天？
近日，全球领先的半导体设备制造商Lam Research泛林集团，正式揭晓了其创新研发的Dextro协作机器人。这款机器人专为半导体制造设备的维护工作设计，并已成功应用于全球多家顶尖晶圆厂。
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泛林介绍世界首款半导体制造设备维护专用协作机器人Dextro
Lam Research 泛林集团当地时间昨日对其打造的世界首款专为半导体制造设备维护打造的协作机器人（IT之家注：Collaborative Robot）Dextro 进行了介绍，并表示该型机器人已获全球多家先进晶圆厂应用。
科林研发推协作机器人Dextro，用于芯片厂设备维护
一般的芯片制造设备中有数百种工具需要定期维护。工具维护精确度非常重要，因为子系统的精确组装会直接影响产量，人类的精确度虽不如机器，但直到最近仍会以人工进行维修。