摘要:在半导体制造过程中,设备的稳定性和减震能力直接影响生产精度与良率。EFFBE ADS-MD系列空气弹簧凭借其出色的性能,成为高精度减震领域的推荐解决方案之一。以下从几个方面总结其特点:
在半导体制造过程中,设备的稳定性和减震能力直接影响生产精度与良率。EFFBE ADS-MD系列空气弹簧凭借其出色的性能,成为高精度减震领域的推荐解决方案之一。以下从几个方面总结其特点:
🔹 高精度减振效果
ADS-MD系列通过空气压缩提供均匀的阻尼力,有效隔离低频振动与地面微幅冲击,适合光学平台、精密测量设备等对稳定性要求极高的场景。实测表明,其振动传递率低于传统金属弹簧减震器,降低设备运行中的振幅干扰。
🔹 刚度和高度可调
支持气压调节,用户可根据设备重量及工况快速调整系统刚度和支撑高度,实现灵活适配。这一特性尤其适合半导体产线中设备更替或布局调整的需求,无需更换硬件即可重新优化减震效果。
🔹 耐环境性与长效稳定
材料采用高、强度橡胶与防腐蚀结构设计,即使在洁净室内长期使用也能保持性能稳定。无金属摩擦的设计减少了颗粒物产生,符合半导体制造环境对洁净度的严格要求。
🔹 集成兼容性强
ADS-MD系列可集成于多种设备底座及隔震平台中,提供模块化安装选项,便于现有产线升级改造。
💡 总结:
EFFBE ADS-MD空气弹簧在半导体设备减震中表现出的适应性、稳定性与洁净兼容性,使其成为高精度制造领域的可靠选择。通过优化振动控制,助力提升设备寿命与产品良率。
来源:汽车之那些事