CVI Laser Optics 193nm/248nm激光反射镜

摘要：CVI Laser Optics在开发与制造工艺上有着50多年的专业经验，掌握广泛制造资源与专业的知识，能力深厚。镜片产品性能高，损伤阈值高，可靠性高，多用于光束路由、对准和采样。

准分子激光反射镜，248nm/193nm，损伤阈值3J/cm²，反射率>99.0%

CVI Laser Optics在开发与制造工艺上有着50多年的专业经验，掌握广泛制造资源与专业的知识，能力深厚。镜片产品性能高，损伤阈值高，可靠性高，多用于光束路由、对准和采样。

193nm,248nm反射镜CVI的反射率曲线图：

左图：0°和45°时，193nm准分子激光反射镜的反射率与波长的关系：0°时最小反射率>97%，45° UNP时>96%，45° P-Pol时>94%，45° S-Pol时>97%。

右图：0°和45°时，248nm准分子激光反射镜的反射率与波长的关系：0°时最小反射率>99.5%，45° UNP时>99%。

CVI激光光学公司对激光反射镜的性能要求：低散射、出色的表面形状、高损伤阈值和高可靠性。CVI Laser Optics拥有适用于各种典型激光应用的反射镜，包含在平面和曲面基底上镀膜的部分反射镜和高反反射镜，可用于单波长、双波长或宽带波长。另外，CVI Laser Optics的镀膜技术能力出色，波长范围从190nm到2100nm，包括电子束介质、高级等离子源、高密度铝、银和金镜面镀膜等，当然，出色的193nm/248nm反射镜也是少不了的。

CVI Laser Optics经常与OEM客户合作，专门为用户的系统制造反射镜，形状、尺寸、基底材料和曲率半径均可定制，CVI Laser Optics任何一种坚固耐用的高性能标准涂层都可以应用于用户所选择的波长和入射角，或者可以设计一种涂层来满足用户的需求，CVI反射镜在1064nm能够承受高达40J/cm2的脉冲功率。CVI Laser Optics拥有用于半导体应用的专业真空铝镀膜技术，以40多年设计和制造激光光学元件的经验，可以为用户制造出合适的反射镜。