矽电股份半自动型分析探针台——晶圆测试的多面能手

摘要：在现今半导体行业中，晶圆测试是集成电路生产过程中的重要环节，探针台在晶圆测试中至关重要。随着半导体技术的高速发展，使得芯片的集成度和复杂度日益提高，对晶圆测试提出了更高的要求。半自动型分析探针台作为晶圆测试的专业设备，能够为各类型器件搭建不同的测试平台，在早期

在现今半导体行业中，晶圆测试是集成电路生产过程中的重要环节，探针台在晶圆测试中至关重要。随着半导体技术的高速发展，使得芯片的集成度和复杂度日益提高，对晶圆测试提出了更高的要求。半自动型分析探针台作为晶圆测试的专业设备，能够为各类型器件搭建不同的测试平台，在早期发现潜在的缺陷，缩短研发时间和制造的工艺成本，为后续的封装和应用提供数据基础。

矽电自研的半自动型分析探针台适用于12/8/6/4英寸集成电路、分立器件、光电器件、传感器等晶圆级半自动测试或手动测试。闭环反馈运动控制平台，整机具有高精度、高刚性、高稳定性的特点。多样化的定制功能（针痕检测，墨点识别，Docking，WAT测试，高低温测试等）。设备采用了目前最新的QPU，OTS及TTG等技术，支持各种类型器件的电学参数测试，如微波（RF）、直流（DC）、交流（AC）、闪烁噪声（1/f）、电容-电压（CV）、电流-电压（IV）等。

Application cases

半自动型分析探针台客制化应用案例

案例一：新型功率半导体器件晶圆测试应用场景

功率 MOSFET（金属 - 氧化物 - 半导体场效应晶体管）在电源管理、电机驱动等众多领域广泛应用。测试其性能参数对确保产品质量和优化设计至关重要。

A企是专注于功率半导体领域的制造商，在推出新一代功率 MOSFET晶圆时，利用探针台进行了全面测试。首先，探针精确地接触到晶圆上各个 MOSFET 的源极、漏极和栅极，测量不同栅极电压下的漏极电流，绘制出输出特性曲线，从而确定器件的导通电阻、阈值电压等关键参数。同时，在测试过程中，搭配不同组件进行了高温和低温环境下的性能测试。通过将晶圆放置在温控台上，模拟实际工作环境中的温度变化，检测功率 MOSFET 在不同温度下的电学性能稳定性。这为产品的评估提供了重要依据，帮助企业优化器件的设计和制造工艺，验证产品在不同应用场景下的适应性情况。

案例二：射频器件测试应用场景

在 IC 设计阶段，设计师需要对芯片进行各种电气参数的测试和验证，以确保设计的正确性。探针台可以精确地将探针与芯片上的测试点接触，实现对芯片的直流（DC）参数、交流（AC）参数、射频（RF）参数等进行测量，帮助设计师发现设计中的潜在问题。

无线通信设备制造商B企在研发新型射频芯片阶段，借助半自动型分析探针台的高精度定位功能使探针能够准确地接触到射频芯片晶圆上微小的射频电极。通过测量不同频率下的射频信号传输特性，如插入损耗、回波损耗等参数，评估芯片的性能。同时，利用探针台对芯片的功率增益进行测试，验证芯片在发射和接收信号时能否满足设计要求。在测试过程中，为了模拟实际工作环境中的电磁干扰，还进行了射频抗干扰测试。通过在特定频率范围内施加干扰信号，观察射频芯片的性能变化，从而优化芯片的抗干扰设计。半自动型分析探针台的灵活操作和稳定性为射频芯片的研发提供了有力支持，缩短了产品的上市时间。

案例三：光电传感器晶圆测试应用场景

在光电器件测试中，半自动型分析探针台可以实现对器件的电学性能、光学性能等进行测试。例如，可以测量光电器件的电流 - 电压特性、电容 - 电压特性、光谱响应等参数。

光电传感器生产商C企在对新型光电二极管晶圆进行测试时，使用探针台进行了多项关键测试。通过将探针接触到晶圆上的光电二极管电极，测量在不同光照强度下的电流变化，确定光电二极管的响应度和线性度。同时，对光电二极管的暗电流进行测试，评估其在无光照条件下的性能。此外，还利用探针台进行了光谱响应测试，测量光电二极管在不同波长光下的响应特性，为产品的应用范围提供了数据支持。在测试过程中，显微镜功能帮助操作人员准确地观察探针与晶圆电极的接触情况，确保测试的准确性和可靠性。通过对多个晶圆样品的测试，企业能够筛选出性能优良的光电二极管，提高产品的质量和竞争力。