摘要:这是一个 8 寸的手动探针台,上面已放置了测试的 8 寸晶圆。此次主要配了四个针座,先来看它的使用。这里有上下左右的调节,是简单调节,后边可手动调节。配的是直流探针,有四个针。还有三目的显微镜,可目视观察。这边是 CD 相机,连接显示屏幕,能显示实时图像。
说说 8 寸手动探针台!
1. 这是一个 8 寸的手动探针台,上面已放置了测试的 8 寸晶圆。此次主要配了四个针座,先来看它的使用。这里有上下左右的调节,是简单调节,后边可手动调节。配的是直流探针,有四个针。还有三目的显微镜,可目视观察。这边是 CD 相机,连接显示屏幕,能显示实时图像。
2. 下边有一些功能,有基板的调节,XYZ 三个轴。其特点是可以快速移动、大范围拖动,也有精细调动。
3. 回到中间,样品是一个 8 寸的晶圆,现在能看到四根针扎上去了,这是扎上去后的显示位置,即样品的四个点和四根针。后边的针可接到一些仪表,如源表等测试仪表。
4. 回到这边,针座可从三个方向调节,可配两个或四个针座进行配置。
5. 回到手动弹的台,它分别针对 4 寸、6 寸、8 寸设置三个通道,可吸附 4 寸、6 寸、8 寸的晶圆。8 寸手动弹台有个巧妙设计,可快速脱离装置。能看到有较大下降,方便取样片和放置样品,可快速脱离、快速上升。
6. 还有个装置也能帮助快速移动、大范围移动样品。XYZ 主要是精细调制位置。能看到镜头可快速拖动。
7. 这端回到这边,探针台可支持 4 寸、6 寸、8 寸,不同尺寸的样品。这个装置设计很巧妙,可快速拖动整个样品台,向上拖动,整体拖动。
来源:小顾说科技
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